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湖南省兩個半導體領域的“十大技術攻關項目”完成項目綜合績效評價，近日順利完成驗收，意味著這兩個半導體技術已成功實現國產化替代。

“8英寸集成電路成套裝備”項目由湖南楚微半導體和中電四十八所共同承擔，項目已實現8英寸集成電路成套裝備國產化替代，關鍵設備立式爐管、硅外延設備各項指標達到國際同類設備領先水準，并實現了產業化生產。

湖南楚微半導體常務副總經理 易文杰：整個國產設備運行的狀況良好，產品良率也達到了進口設備的水平，目前楚微公司的產能水平是2萬片每月，2024年底要達到5萬片每月。

“第三代半導體核心裝備國產化關鍵技術攻關”項目由中電四十八所承擔，重點實現了6英寸SiC（碳化硅）外延生長等6項“卡脖子”技術突破，裝備核心部件全部國產替代，滿足了規模化量產工藝要求，支撐我國第三代半導體產業自主可控發展。

48所半導體裝備研究部主任 鞏小亮：我們目前也是在（與國際）基本同步研制8英寸的設備，并且初步實現了國產化、工程化。我們預計在十四五期間，會達到每年50到100臺的穩定產值，以及5到10個億的產出。

高科技產業的崛起，離不開強有力的政策支持。湖南連續三年部署實施“十大技術攻關項目”，全力做好資金、人才等要素保障，單個項目經費支持高達1000萬。

湖南省科技廳高新處處長 王先民：在十四五期間，我們會繼續對半導體領域給予特殊政策支持，采取一事一議的方式，對于項目經費、平臺、人才等等這一塊都有支持。

近年來，湖南全力推進高水平技術創新，已全面掌握第六代IGBT核心技術，創造了第一臺離子注入機等30多項國內第一，集成電路整線裝備國產化率達95%；全省建成功率半導體與集成技術全國重點實驗室等國家級創新平臺13個，科技創新動力澎湃。

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