厚度測量范圍:化學(xué)銅:0.25μm–12.7μm(0.01mils–0.5mils)
電鍍銅:2.0μm–254μm(0.1mil–10mil)
線性銅線寬范圍:203μm–7620μm(8mil–300mil)
儀器再現(xiàn)性:0.08μm at 20μm(0.003 mils at 0.79 mils)
顯示單位:mil、μm、oz
操作界面:英文、簡體中文
存 儲 量:9690條檢測結(jié)果(測試日期時間可自行設(shè)定)
測量模式:固定測量、連續(xù)測量、自動測量模式
統(tǒng)計分析:數(shù)據(jù)記錄,平均數(shù),標準差,上下限提醒功能CMI165配置包括:l CMI165主機l SRP-T1探頭l NIST的校驗用標準片1個






