Sensofar S neox 3D光學(xué)輪廓儀

共聚焦白光干涉輪廓儀

S neox 3D光學(xué)輪廓儀是一款高精度的非接觸式3D光學(xué)輪廓儀，它將共聚焦、干涉和多焦面疊加等多種測量技術(shù)集于一身。該系統(tǒng)能夠?qū)悠繁砻娴母叨?、粗糙度、體積和薄膜厚度等參數(shù)進(jìn)行快速、菁確的測量與表征，廣泛應(yīng)用于研發(fā)和質(zhì)量控制領(lǐng)域。

新型 S neox 在性能、功能、效率和設(shè)計(jì)方面優(yōu)于現(xiàn)有的 3D光學(xué)輪廓儀，是Sensofar 的新一代高端測量系統(tǒng)。

易于使用

Sensofar 致力于為客戶提供操作簡單方便和良好的使用體驗(yàn)。隨著第五代 S neox 系統(tǒng)的誕生，我們的目標(biāo)是使其易于使用、直觀且更快速。即使是初學(xué)者，只需點(diǎn)擊一下，即可操作測量。模塊化設(shè)計(jì)的軟件，使系統(tǒng)適應(yīng)用戶多樣的需求。

驚人的測量速度

通過采用新的智能和獨(dú)特的算法以及新型相機(jī)，達(dá)到驚人的測量速度。數(shù)據(jù)采集速度達(dá) 180 fps。標(biāo)準(zhǔn)測量采集速度比以前快 5 倍。S neox 成為市場上速度比較快的表面測量系統(tǒng)。

應(yīng)用領(lǐng)域：

先進(jìn)制造業(yè)

航空航天與汽車行業(yè)

考古學(xué)與古生物學(xué)

消費(fèi)類電子產(chǎn)品

光學(xué)器材

精密加工

功能靈活多樣

質(zhì)量管理

豐富的自動(dòng)化模塊，方便進(jìn)行質(zhì)量管控。從操作員訪問權(quán)限控制、測量程序存儲(chǔ)、兼容性到條形碼/QR 讀取器，以及我們專有SensoPRO 軟件中的定制插件，都可以自動(dòng)生成分析報(bào)告。我們的優(yōu)化解決方案能夠在 QC 環(huán)境中工作， 其具有靈活性和易于使用的界面， 可編程并24小時(shí)工作。

研發(fā)

Sensofar 的三合一方法—只需點(diǎn)擊一次，系統(tǒng)即可切換到適合當(dāng)前測量任務(wù)的掃描模式。在 S neox 傳感器頭中配置三種測量技術(shù)：共聚焦、干涉、Ai 多焦面疊加，這些都為系統(tǒng)的多功能性做出了重要貢獻(xiàn)，并有助于非常有效地減少數(shù)據(jù)采集中的噪點(diǎn)。S neox 是實(shí)驗(yàn)室環(huán)境的理想之選，適用范圍廣泛，適合粗糙，到光滑及超光滑表面3D測量。

四合一技術(shù)

Ai 多焦面疊加NEW

主動(dòng)照明多焦面疊加是一種為了測量大粗糙表面形狀而開發(fā)的光學(xué)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)基于 Sensofar 在共聚焦和干涉 3D 測量領(lǐng)域的廣泛專業(yè)知識(shí)，專門設(shè)計(jì)用于補(bǔ)充低放大率下的測量。通過使用主動(dòng)照明，即使在光學(xué)平滑的表面上也能獲得更可靠的測量數(shù)據(jù)，這一點(diǎn)已經(jīng)得到了改進(jìn)。該技術(shù)的亮點(diǎn)包括高斜率表面(高達(dá) 86o),更快的速度(mm/s）和較大的垂直范圍測量。

共聚焦

共聚焦輪廓儀的開發(fā)目的是，測量從光滑表面到非常粗糙表面的表面高度。共聚焦輪廓提供更佳的橫向分辨率，可達(dá) 0.14μm 水平分辨率，空間采樣可減少到 0.01μm，這是關(guān)鍵尺寸測量的理想選擇。高達(dá)NA (0.95) 和放大倍率(150X) 的物鏡可用于測量局部斜率超過 70°的光滑表面。對(duì)于粗糙表面，可允許 86°。研發(fā)的共聚焦算法提供了納米尺度上的垂直重復(fù)性。

干涉

光學(xué)干涉是利用參考鏡和樣本上產(chǎn)生的兩束反射光在零光程差時(shí)產(chǎn)生干涉的現(xiàn)象來生成三維干涉圖樣（干涉圖），包含樣本表面形貌上的信息。該方式的各種變化可用于具體不同的應(yīng)用。

薄膜

薄膜測量技術(shù)快速、準(zhǔn)確、無損地測量光學(xué)透明層的厚度，且不需要樣品制備。該系統(tǒng)獲取可見光范圍內(nèi)樣品的反射光譜，并與軟件計(jì)算的模擬光譜進(jìn)行比較，準(zhǔn)確地找到匹配的厚度?？梢栽诓坏揭幻腌姷臅r(shí)間內(nèi)測量出 50nm 到 1.5μm 的透明膜。測量光斑取決于物鏡放大率，范圍從0.5μm到40μm。