優(yōu)勢：
高品質(zhì)相位補(bǔ)償
氙燈光源強(qiáng)度優(yōu)化系統(tǒng)
退偏糾正
自動(dòng)可變?nèi)肷浣嵌?/span>
背照式CCD光譜采集系統(tǒng)
自動(dòng)XYZ載物臺(tái)、真空吸附
技術(shù)規(guī)格
波長 |
300 - 900nm（其余可選） |
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Y、D |
0.001°、0.01° (90° 時(shí)50次測量標(biāo)準(zhǔn)差) |
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長期穩(wěn)定性 |
TanY = ±0.001；CosD = ±0.001(90°超過1小時(shí)的測量) |
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膜厚 |
±1 ? for 100 nm SiO2 on Si |
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折射率 |
± 5x10-4 for 100 nm SiO2 on Si |
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厚度范圍 |
0.1nm-200μm |
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燈源 |
日本濱松光子氙燈（含強(qiáng)度自動(dòng)優(yōu)化系統(tǒng)以自動(dòng)選擇合適光強(qiáng)） |
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模型 |
Cauchy、EMA等 |
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光學(xué)結(jié)構(gòu) |
PSCA |
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高穩(wěn)定度補(bǔ)償器C；CosD=1 附近有較高 |
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起偏器P、補(bǔ)償器C、檢偏器A的位置自動(dòng)跟蹤、以及自校準(zhǔn)功能 |
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光斑 |
<<1 mm；≈60 μm |
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分析 |
含退偏糾正 |
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光譜儀 |
背照式CCD、-15℃真空制冷 |
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入射角 |
10° - 90°連續(xù)可變追蹤布魯斯特角；0.0002° |
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自檢 |
90°自動(dòng)校準(zhǔn)；包括原始測試波形的自檢 |
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維護(hù) |
自動(dòng)的內(nèi)部維護(hù)程序，檢查部件是否在正常工作 |
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數(shù)據(jù)庫 |
各種電介質(zhì)、薄膜、晶體及非晶半導(dǎo)體、金屬等的NK文件（數(shù)萬種）
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