主要產(chǎn)品系列：一維直驅(qū)式、一維放大式、一維Z向式、一維小體積式、一維中空式、一維L式物鏡臺、一維U式物鏡臺、二維集成式、二維模塊式、三維集成式、三維模塊式、三維并聯(lián)式、六維并聯(lián)式。
納米級精密定位工作臺以壓電陶瓷致動器為驅(qū)動元件，通過柔性鉸鏈機構(gòu)進行無間隙的微位移傳動，運動范圍在幾十微米到幾百微米，運動分辨率和重復(fù)定位在納米級。主要應(yīng)用于精密進給系統(tǒng)、精密位移補償、精微操作、MEMS技術(shù)、生物工程、細胞操作、微刻蝕、掃描隧道顯微鏡、光學(xué)調(diào)整、電化學(xué)加工等領(lǐng)域。
主要特點：
采用壓電陶瓷驅(qū)動；
納米級位移分辨率；
重復(fù)定位高；
優(yōu)良的頻率響應(yīng)特性；
采用計算機有限元分析等現(xiàn)代設(shè)計動結(jié)構(gòu)；
可內(nèi)置電阻應(yīng)變片式微位移傳感器，方便實現(xiàn)閉環(huán)控制；
機體材料可選擇鋁合金、Invar合金等，適用于不同的應(yīng)用場合；
采用電火花、線切割等加工工藝，以嚴(yán)格加工；
采用的表面處理工藝，了適應(yīng)不同工作環(huán)境的能力；
運動自由度從一維到六維，行程10~400微米，形成多系列產(chǎn)品。
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