實現(xiàn)更快，更簡便測量
自動光學(xué)傾斜測量頭
在8um及以上的臺階高度標(biāo)樣上測得.
自動光學(xué)傾斜測量頭
全自動X,Y, Z樣品臺
自動光鏡轉(zhuǎn)塔，放大鏡，和測試光選擇
更靈活而穩(wěn)定的震
集成式充氣式震臺
高穩(wěn)定度，空間節(jié)省
更強大的測量和分析
簡單明了，人性化的工作流程
實時自動優(yōu)化測量
完整的數(shù)據(jù)分析軟件包
可定制的分析
測量
布魯克的傾斜測量頭為用戶提供了大的靈，實現(xiàn)快速測量和觀察。通過在在顯微鏡頭中結(jié)合頭部傾斜功能，布魯克這一技術(shù)實現(xiàn)了將觀察位置保持在焦平面處，為用戶實際使用時帶來了很大便利。
準(zhǔn)確追蹤和使用的簡便性對于在不同表面上快速檢測是的，這樣在批量測試時速度也大大。
這一特點結(jié)合樣品臺與物鏡的電動控制使得三維光學(xué)顯微鏡Contour GT-I 成為了具有較小占地卻能同時滿足多種測試要求的測量平臺。
業(yè)界方便靈活的測量方式
除上述優(yōu)點外，三維光學(xué)顯微鏡ContourGT-I通過的設(shè)計直接在機臺上集成震系統(tǒng)，使其直接滿足各種環(huán)境條件，包括工廠，實現(xiàn)準(zhǔn)確地測量。
這一經(jīng)過嚴(yán)格測試的震系統(tǒng)為用戶提供不折不扣的優(yōu)化測試條件，從而得到重復(fù)性的定量數(shù)據(jù)。
三維光學(xué)顯微鏡ContourGT-I為用戶在科研或生產(chǎn)環(huán)境下提供各類測試要求，優(yōu)異，可計量的測試結(jié)果。
| 掃描量程 | 可達10mm |
| 垂直分辨率 | <0.01nm |
| RMS 重復(fù)性 (PSI) | 0.01nm |
| 臺階高度準(zhǔn)確性 | 0.75% |
| 臺階高度重復(fù)性 | <0.1% 1 sigma repeatability** |
| 掃描速度標(biāo)準(zhǔn)相機 | 73 μm/sec |
| 樣品反射率 | 0.05%-100% |
| 坡度–光滑面 | 可達40° |
| 坡度–粗糙面 | Upto87° |
| XY樣品臺 | 150mm(6in.) 自動 |
| Z調(diào)焦范圍和樣品高度 | 100mm(4in.)automated,(6in.) |
| 頭部傾斜 | ±5°自動 |
| 光學(xué)測量模塊 | 雙LED（）照明,單筒物鏡或轉(zhuǎn)塔，單個放大鏡或自動轉(zhuǎn)動放大鏡 |
| 物鏡 | 同焦面:2.5x,5x,10x,20x,50x,115x |
| 長工作距離:1x,1.5x,2x,10x | |
| TTM:2x,5x,10x,20x | |
| 明場:5x,10x,20x,50x | |
| 放大鏡 | 0.55x,0.75x,1x,1.5x,2x |
| 相機 | 標(biāo)配:640x480 |
| 高清(可選):1280x960 | |
| 彩色(可選):640x480 | |
| 軟件系統(tǒng) | 基于Windows 7 64位操作系統(tǒng)的Vision64 分析軟件 |
| 可選軟件包 | 生產(chǎn)模式; Annular 分析; 分辨率模式自動對焦; 光學(xué)分析包; 成像模式; 厚膜測試模式; MatLab; PSS（圖案化藍寶石襯底）測試模式 |
| 校準(zhǔn) | 可溯源的臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣 |
| 占地 | 450mm (W) x 533mm (D) x 745mm (H) |
| 可測樣品重量 | 十公斤 |
| 系統(tǒng)總重 | 六十公斤 |
| 保修期 | 12 個月 |
在8um及以上的臺階高度標(biāo)樣上測得.
VSI模式下對10μm臺階測試重復(fù)性指標(biāo). 平均標(biāo)準(zhǔn)偏差<10nm.
