電容傳感器優(yōu)點(diǎn)
電容傳感器有什么優(yōu)點(diǎn)?
1、測(cè)量范圍大 其相對(duì)變化率可超過100%;
2、靈敏度高 如用比率變壓器電橋測(cè)量,相對(duì)變化量可達(dá)10-7數(shù)量級(jí);
3、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快 因其可動(dòng)質(zhì)量小,固有頻率高,高頻特性既適宜動(dòng)態(tài)測(cè)量,也可靜態(tài)測(cè)量;
4、穩(wěn)定性好 由于電容器極板多為金屬材料,極板間襯物多為無機(jī)材料,如空氣、玻璃、陶瓷、石英等;因此可以在高溫、低溫強(qiáng)磁場(chǎng)、強(qiáng)輻射下長期工作,尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測(cè)難題。
ZNXsensor型超精密電容傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器;兩個(gè)傳感器板形成一個(gè)平行板電容器,每個(gè)傳感器可用在兩個(gè)不用的測(cè)量范圍;納米分辨率;零磁滯。
ZNXsensor電容傳感器應(yīng)用領(lǐng)域主要為:壓電微位移、振動(dòng)臺(tái),電子顯微鏡微調(diào),天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào),精密微位移測(cè)量等。
主要特點(diǎn):
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滯;
線性0.02%;
頻帶可調(diào):50~5000Hz;靈敏度可調(diào);
真空兼容選項(xiàng);
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