在很多純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的對于過程處理的正常運(yùn)作。一直以來，對的持續(xù)追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)?shù)姆桨?，用來在線測量值，下限的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和純氣體應(yīng)用的位變送器。
亮點(diǎn)
- 測量下限 -120°C (1 ppbV)
- 測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數(shù)字輸出
- 安裝簡便
- VCR 過程接口
- 設(shè)計(jì)緊湊小巧
- 顯示/報(bào)警單元可選
技術(shù)指標(biāo) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
