INFICON PEG100真空潘寧規(guī)提供了的高真空測(cè)量。無高真空燈絲。由于等離子點(diǎn)火的鈦陰板和高電壓降低,潘寧規(guī)也可以應(yīng)用在陰濺射鍍膜工藝上。
特點(diǎn):
>測(cè)量范圍廣:5 X 10 -7~1 Pa
>全金屬冷陰陶瓷傳感器
>新型幾何電提供了好的點(diǎn)火性能
>降低等離子點(diǎn)火高電壓和鈦陰板污染的危險(xiǎn),即使在氬濺射過程中也一樣
>陽(yáng)環(huán)和鈦陰可清洗,更換容易
>小磁場(chǎng)強(qiáng)度測(cè)量
>LED指示燈電源和等離子點(diǎn)火
>對(duì)數(shù)模擬輸出信號(hào)
>Fieldbus總線接口(Profibus DB, DeviceNet),集成到真空系統(tǒng)的網(wǎng)絡(luò)通信







