規(guī)格參數(shù)：
EF-4030A
量測范圍
00mm*300mm*150mm
機(jī)身材質(zhì)00級(jí)花崗巖
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，幾乎沒有內(nèi)應(yīng)力造成型變問題
工作臺(tái)材質(zhì)
控制系統(tǒng)臺(tái)達(dá)
A2伺服電機(jī)
光學(xué)尺0.5μ方波全差分信號(hào)
光學(xué)系統(tǒng)
1：
明暗場工具顯微鏡
大倍率
較小面積的檢視劃傷用及檢視離子用
光學(xué)系統(tǒng)
2：
明暗場變焦顯微鏡
暗場技術(shù)
較大面積的檢視劃傷用
照明系統(tǒng)
1：
同軸光與暗場光
檢視ITO玻璃及檢視離子用
照明系統(tǒng)
2：
同軸光與之暗場光
檢視ITO玻璃
CCD攝像系統(tǒng)
3：
大范圍可調(diào)動(dòng)參數(shù)之相機(jī)
檢視ITO玻璃
量測（3＋5L/1 000mm）μ
EF-4030A
量測范圍
00mm*300mm*150mm
機(jī)身材質(zhì)00級(jí)花崗巖
穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)，幾乎沒有內(nèi)應(yīng)力造成型變問題
工作臺(tái)材質(zhì)
控制系統(tǒng)臺(tái)達(dá)
A2伺服電機(jī)
光學(xué)尺0.5μ方波全差分信號(hào)
光學(xué)系統(tǒng)
1：
明暗場工具顯微鏡
大倍率
較小面積的檢視劃傷用及檢視離子用
光學(xué)系統(tǒng)
2：
明暗場變焦顯微鏡
暗場技術(shù)
較大面積的檢視劃傷用
照明系統(tǒng)
1：
同軸光與暗場光
檢視ITO玻璃及檢視離子用
照明系統(tǒng)
2：
同軸光與之暗場光
檢視ITO玻璃
CCD攝像系統(tǒng)
3：
大范圍可調(diào)動(dòng)參數(shù)之相機(jī)
檢視ITO玻璃
量測（3＋5L/1 000mm）μ
