MarSurf LD130
日益增加的各種測量任務(wù)需要要求了對粗糙度和輪廓度的同事測量。為了滿足這一需求，測量單元須實(shí)現(xiàn)別的計(jì)量性能。亞納米級的分別率，小于20nm的RZ殘余誤差是需求中的兩項(xiàng)。
粗糙度和輪廓度二合一
的測量和定位大的縮短了測量時(shí)間
性的測頭系統(tǒng)解決方案
測臂的實(shí)時(shí)識別帶來更快和更的測臂更換
基于標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)的友好界面，不需要的拆分機(jī)器即可實(shí)現(xiàn)儀器的保養(yǎng)


MarSurf LD 260
磁性測量基座支持多種測頭，更換簡單，維護(hù)保養(yǎng)
？ 定位可到微米，有碰撞保護(hù)，納米級的分辨率高剛性和穩(wěn)定性
？ 的結(jié)果得益于用于高測量的校準(zhǔn)程序
？ 軟件可設(shè)置測量力，在整個(gè)執(zhí)行過程中恒定，測量靈和性?？梢赃x擇適合的測量力來滿足工件的材料特性和所選測針
？ 在MarSurf X系列中可通過形態(tài)過濾來
？ 測臂更換不需要重新校準(zhǔn)，磁性基座和每個(gè)測臂的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)被單獨(dú)保存可測量的重復(fù)性
開始操作儀器便可以對形貌進(jìn)行測量監(jiān)督
盡早識別誤差，節(jié)省糾正時(shí)間
儀器可輸出不同的輪廓數(shù)據(jù)格式，并對機(jī)械加工進(jìn)行控制（循環(huán)）
增加靈和實(shí)用性
不同類型的旋轉(zhuǎn)對稱非球面只可用一套設(shè)備進(jìn)行測量，不需額外增加設(shè)備
測量結(jié)果正確無誤
高的MarSurf LD 260是測量工件的基礎(chǔ)，垂直方向分辨率2nm，形狀誤差小于100nm，了非球面產(chǎn)品的再現(xiàn)性
整座測量系統(tǒng)固定在控制柜中，附件的減震裝置大大降低了周圍環(huán)境對設(shè)備的影響
MarSurf LD 260 采用內(nèi)置激光測量系統(tǒng)，是高質(zhì)量，高的輪廓和粗糙度測量儀，測量既可評價(jià)輪廓也可評價(jià)粗糙度。對于這些測量任務(wù)，你需要擁有大行程測量來測量輪廓半徑和nm級的粗糙度的兩臺設(shè)備，而我們的一臺儀器可以滿足兩種不同方式的測量
與激光干涉儀比較，接觸式測量技術(shù)可實(shí)現(xiàn)光學(xué)粗糙度表面2D和3D測量，所以可在加工前進(jìn)行測量和修正（精磨）。