FS1015系列微機(jī)電氣體質(zhì)量流量傳感器是專(zhuān)門(mén)為各類(lèi)用氣體的測(cè)量和過(guò)程控制而設(shè)計(jì)的。產(chǎn)品采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來(lái)制作，適用于各類(lèi)清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量計(jì)。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
-傳感器靈敏度高，有小的始動(dòng)流量
-傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，了傳感器的高計(jì)量
-在單個(gè)芯片上集成了多個(gè)傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點(diǎn)穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應(yīng)時(shí)間快 8 msec
產(chǎn)品特點(diǎn)：
-傳感器靈敏度高，有小的始動(dòng)流量
-傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償，了傳感器的高計(jì)量
-在單個(gè)芯片上集成了多個(gè)傳感器，使傳感器的量程比大大；
-傳感器的點(diǎn)穩(wěn)定度高
-全量程高穩(wěn)定性
-全量程高度和優(yōu)良的重復(fù)性
-低功耗＜100 mW，低壓損＜1300 Pa
-響應(yīng)時(shí)間快 8 msec
