全自動光譜橢偏儀(PH-ASE型)把使用者從煩瑣的手動調(diào)節(jié)樣品高度和傾斜度工作中解放出來，樣品對準(zhǔn)是為了橢偏儀測量的可重復(fù)性和性。已獲得的自動樣品對準(zhǔn)裝置能夠顯著減少操作失誤；能夠工作于透明或反射基底；能夠進(jìn)行地貌圖測量，包括翹曲晶片。



全自動光譜橢偏儀-產(chǎn)品特點(diǎn)

■全自動樣品校準(zhǔn)
■高測量速率< 8秒
■消除了全波段范圍內(nèi)的盲點(diǎn)
■可測量透明和吸收基底
■高測量
■具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能
■友好的軟件界面，強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析功能
■具有實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)和模擬數(shù)據(jù)三維繪圖功能



光譜橢偏儀-技術(shù)指標(biāo)

■光源：氙燈
■光斑直徑：1-3mm
■入射角范圍：20°到90°自動控制
■波長范圍：350-850nm，250-1100nm，250-1700nm：0.002°~ 0.02°
■波長：1nm
■ 測量時(shí)間: < 8s（取決于測量模式和粗糙度）
■ 入射角度：0.01

光譜橢偏儀-可選配

■CCD線陣列探測元件：200-850nm，350-1000nm
■樣品顯微鏡
■高穩(wěn)定性消色差補(bǔ)償器
■測量架
■XY移動樣品臺

光譜橢偏儀-典型客戶

美國，歐洲，亞洲及國內(nèi)太陽能及半導(dǎo)體客戶。

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