技術(shù)數(shù)據(jù)：
尺寸重量：長（635mm）×寬（660mm）×高（1350mm），300KG
輸入電源：220V＋／-10％，50～60Hz，0.5A
輸入氣源：0.5MPa，20L／min潔凈氣源
掃描方式：二次θ掃瞄
分選跨度：10"～99"可任意設(shè)置
小讀數(shù)：1"
晶片尺寸要求：X方向6～40mm，Z方向9～40mm.
樣本數(shù)：1～300可任意設(shè)置
δ：1.0～9.0可任意設(shè)置
光路調(diào)整方式：可控光軌調(diào)整裝置
輸出方式：8英吋TFT觸摸屏，CF卡，PIBRIDGE打印接口
測量模式
提供2°與35°統(tǒng)計方式選擇
抽樣測試模式
提供單次測量模式
提供靜態(tài)測試模式
報警功能
標(biāo)準(zhǔn)片校正不規(guī)范報警
樣本數(shù)設(shè)定數(shù)值報警
統(tǒng)計功能
提供樣本數(shù)據(jù)列表
提供三種數(shù)據(jù)處理模型
動態(tài)中心值指示
動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)偏差值指示
CPK制程能力指數(shù)實時計算
尺寸重量：長（635mm）×寬（660mm）×高（1350mm），300KG
輸入電源：220V＋／-10％，50～60Hz，0.5A
輸入氣源：0.5MPa，20L／min潔凈氣源
掃描方式：二次θ掃瞄
分選跨度：10"～99"可任意設(shè)置
小讀數(shù)：1"
晶片尺寸要求：X方向6～40mm，Z方向9～40mm.
樣本數(shù)：1～300可任意設(shè)置
δ：1.0～9.0可任意設(shè)置
光路調(diào)整方式：可控光軌調(diào)整裝置
輸出方式：8英吋TFT觸摸屏，CF卡，PIBRIDGE打印接口
測量模式
提供2°與35°統(tǒng)計方式選擇
抽樣測試模式
提供單次測量模式
提供靜態(tài)測試模式
報警功能
標(biāo)準(zhǔn)片校正不規(guī)范報警
樣本數(shù)設(shè)定數(shù)值報警
統(tǒng)計功能
提供樣本數(shù)據(jù)列表
提供三種數(shù)據(jù)處理模型
動態(tài)中心值指示
動態(tài)標(biāo)準(zhǔn)偏差值指示
CPK制程能力指數(shù)實時計算
