Femto PCCE 觸摸屏
適用制程研發(fā),清潔,活化,蝕刻
外型尺寸:W 562 mm,H 211 mm,D 420 mm
反應(yīng)室尺寸:Ø100 mm,L 280 mm
氣體供應(yīng):流量控制型;雙氣體通道
射頻發(fā)生器:40kHz/100 W,可調(diào)變輸出功率
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m3/h)
控制方式:電腦控制
咨詢電話SERVICE LINE
86-400-6993936

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蘇州和諧電子技術(shù)有限公司
免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照未上傳
經(jīng)營(yíng)模式:工廠
所在地:江蘇省 蘇州市
主營(yíng)產(chǎn)品:電工電氣,電子元器件,工業(yè)設(shè)備及組件,儀器儀表,制造加工機(jī)械