1、測量范圍：1×10-1～1×10-5Pa。
2、X射線限：1.6×10-6Pa。
3、規(guī)管靈敏度：0.15±15％Pa-1。
4、工作參數(shù)：
燈絲電壓3.5V；
燈絲電流1.2A；
燈絲對(duì)地電位25V；
柵對(duì)地電位200V；
柵電流（發(fā)射電流）5mA；
收集對(duì)地電位0V。
5、焦耳（I2R）除氣：柵電壓12V；柵電流3.2A。
6、真空連接形式及烘烤溫度：Φ15.5±0.5玻管－80℃；Φ15.5±0.1金屬直管－80℃；KF10快卸法蘭－80℃；KF16快卸法蘭－80℃；KF40快卸法蘭－80℃；CF25法蘭－450℃；CF35法蘭－450℃。
2、X射線限：1.6×10-6Pa。
3、規(guī)管靈敏度：0.15±15％Pa-1。
4、工作參數(shù)：
燈絲電壓3.5V；
燈絲電流1.2A；
燈絲對(duì)地電位25V；
柵對(duì)地電位200V；
柵電流（發(fā)射電流）5mA；
收集對(duì)地電位0V。
5、焦耳（I2R）除氣：柵電壓12V；柵電流3.2A。
6、真空連接形式及烘烤溫度：Φ15.5±0.5玻管－80℃；Φ15.5±0.1金屬直管－80℃；KF10快卸法蘭－80℃；KF16快卸法蘭－80℃；KF40快卸法蘭－80℃；CF25法蘭－450℃；CF35法蘭－450℃。
