伺服平臺(tái)平臺(tái)尺寸:400mmx300 mm,XY移動(dòng)行程:350X270mm,可定做更大行程的工作平臺(tái)。
測(cè)量光源:精密紅色激光線,照明光源:環(huán)型白色LED照明,測(cè)量模式:可編程多處自動(dòng)掃描測(cè)量。視場(chǎng):20X-100X 5檔可調(diào)。
高度測(cè)量 0.002mm.高度重復(fù)測(cè)量±0.002mm.
攝像機(jī)掃描頻率,60 Field/Sec.掃描范圍多處,任意大小,可編程。
3D 模式:3D 模擬圖,3D數(shù)據(jù)測(cè)量。
XY掃描間距 0.005mm-5mm 可任意設(shè)定電動(dòng)。其他測(cè)量功能:2維測(cè)量,數(shù)據(jù)管理,其他元器件,線路,油墨高度等掃描測(cè)量。
操作系統(tǒng) Windows,重量 55 KG.
程序編制功能方便多次重復(fù)掃描,大的SPC統(tǒng)計(jì)分析系統(tǒng)?!?





