???新設計低噪音線性伺服馬達驅動系統(tǒng),500mm/sec的掃描
???掃描測量軸,步測量軸,焦點測量
軸的分辨率可0.1μm的高精解析
?具有可移動的穿透法掃描功能
?掃描范圍:200mm×150mm
???0.1μm 編碼器分辨率
???焦點測量軸的位移:
50mm/0.1μm分檔器分辨率
?儀器尺寸:
495(W)×386(D)×450(H)mm
掃描儀 IS-350
?新設計低噪音線性伺服馬達驅動系統(tǒng)
1000mm/sec的掃描
?。?.5μm 編碼器分辨率
???3軸,4軸或5軸系統(tǒng)
???掃描范圍:350mm x 350mm
?。?00mm硅薄片檢驗,同時可測2枚JEDEC標準托盤)
???儀器尺寸:680(W)x 800(D)x 1320(H)mm
?操作系統(tǒng):Windows 7/64bit
雙探頭(2CH)同時數(shù)據收集功能。
???效率和生產力的強化
???具有不同頻率的探頭
???具有不同焦點的探頭
???2個焦點測量軸可同步測量也可分離測量
???脈沖反射法和穿透法的兩種手法可同步使用
Insight Image 軟件
?多層掃描圖像
???正數(shù)值,負數(shù)值,值值的不同圖像
?各A,B,C-層掃描可重復再建
???立體3D圖像
???頻率信號的模擬計算
C-層掃描設備
???3,4,5,6,7或8軸掃描系統(tǒng)
???多種伺服馬達驅動系統(tǒng)可供選擇
?35MHz和500MHz的接收器可專門配制
探頭功能
???種微小電子部件和實裝部件
?。ㄐ酒?,QSP,陶器,薄膜)
?復合材料的檢測
?頻率可提供1MHz-250MHz.







