:+/-1.5%滿量程(一般氣體)
重復(fù)性:+/-0.25%滿量程
OEM 的價格,具備數(shù)字質(zhì)量流量控制器的優(yōu)良
性能
可控制氣流為50 SLPM(NLPM)
的 316L不銹鋼鉑金屬傳感器技術(shù)和的線性
層流器技術(shù)儀表的優(yōu)良性度。
提供鋁和 316不銹鋼兩種表體,帶Viton彈性線圈
本地顯示和數(shù)字設(shè)定點控制,可選模擬設(shè)定點和模
擬輸出信號
RS-232接口輕松與PLC 和工作站連接(提供用戶軟件和通訊線纜)
RS-485(可尋址)
提供兩個I/O dB9通訊口以便靈活連接通信
可現(xiàn)場調(diào)節(jié)點和量程
直接控制氣體的伺服電磁閥使氣體泄漏小
300 ms的控制閥時間常數(shù)
輕便的體積代替原來大的 MFC
性能參數(shù)
:+/-1.5%滿量程及線性度,溫度在32ºF〜122ºF(0ºC〜50ºC)。
重復(fù)性:
&plun;0.2%的滿度。
溫度系數(shù):
&plun;0.025%的滿度每ºF(0.05%的滿度每ºC),或者更好。
壓力系數(shù):
&plun;0.01%的滿度每psi(0.15%的滿度每bar)或更好。
響應(yīng)時間:
300毫秒的時間;2秒鐘終設(shè)定值的&plun;98%,更快或更慢響應(yīng)可定做。
材料:
316不銹鋼;430F不銹鋼;“O”形橡膠密封圈(Viton“O”-rings),其它材料請咨詢廠家。
氣體:
清潔氣體,包括腐蝕性氣體。在定貨時請指明。







