奧林巴斯3D 測(cè)量激光顯微鏡廣泛應(yīng)用于不同行業(yè)的質(zhì)量控制、研究和開(kāi)發(fā)過(guò)程,它在激光顯微領(lǐng)域樹(shù)立了的標(biāo)準(zhǔn)?,F(xiàn)在,為滿足測(cè)量不斷和測(cè)量范圍日益擴(kuò)大的需求,奧林巴斯推出了新型產(chǎn)品LEXT OLS4000。該產(chǎn)品不但可以讓測(cè)量更加快速、簡(jiǎn)單,而且可以拍攝到更高畫(huà)質(zhì)的影像,大大了激光顯微鏡的界限。
OLS4000采用了5項(xiàng)激光技術(shù),短波長(zhǎng)激光光源、共焦光學(xué)系統(tǒng)、XY掃描、獲取色彩影像及Z軸掃描,讀光柵尺,限的利用了“光”的的力量
LSM 采用短波長(zhǎng)半導(dǎo)體激光和的雙共焦光學(xué)系統(tǒng),會(huì)刪除未聚焦區(qū)域的信號(hào),只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測(cè)為同一高度。同時(shí)結(jié)合高的光柵讀取能力,可以生成高畫(huà)質(zhì)的影像,實(shí)現(xiàn)的3D測(cè)量。
應(yīng)用
LEXT OLS4000可用來(lái)測(cè)量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D 表面形貌、
2D 的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
? 精密部件:檢測(cè)對(duì)表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的部件;
? 生命科學(xué)
? 電子元件:光掩膜,微透鏡,柔性電路板接觸點(diǎn),MEMS等
? 半導(dǎo)體:晶圓凸起,導(dǎo)光板,芯片焊點(diǎn),導(dǎo)光板激光點(diǎn)等
? 原材料/金屬加工:電鍍金剛石工具,碳精棒,細(xì)管,膠帶等
? 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測(cè)量
? LED行業(yè)
■技術(shù)參數(shù)
光源:405nm半導(dǎo)體激光 白色LED
檢出系統(tǒng):光電管
變焦:光學(xué)變焦:1~8X,數(shù)碼變焦:1~8X
分辨率:移動(dòng)分辨率10nm,顯示分辨率1nm
物鏡轉(zhuǎn)換器:6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
物鏡:100x,50x,20x,10x,5x等
XY載物臺(tái):100×100 mm(電動(dòng)載物臺(tái)),可選: 300×300 mm(電動(dòng)載物臺(tái))








