等離子清洗機
DIENER 等離子清洗機
Femto PCCE 觸摸屏
適用制程研發(fā),清潔,活化,蝕刻
外型尺寸:W 562 m,H 211 m,D 420 m
反應(yīng)室尺寸:Ø100 m,L 280 m
氣體供應(yīng):流量控制型;雙氣體通道
射頻發(fā)生器:40kHz/100 W,可調(diào)變輸出功率
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m3/h)
控制方式:電腦控制
蘇州和諧電子技術(shù)有限公司
DIENER 等離子清洗機
Femto PCCE 觸摸屏
適用制程研發(fā),清潔,活化,蝕刻
外型尺寸:W 562 m,H 211 m,D 420 m
反應(yīng)室尺寸:Ø100 m,L 280 m
氣體供應(yīng):流量控制型;雙氣體通道
射頻發(fā)生器:40kHz/100 W,可調(diào)變輸出功率
真空泵:Leybold,Te S1.5(1.5m3/h)
控制方式:電腦控制
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