在厚度為2nm(20埃)或更厚時膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以電流密度,使得它具有的溫度來引起蒸發(fā)。基于這點,出現(xiàn)了細小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴散泵或渦輪分子泵1x10-4mbar或更高的真空度?!?
渦輪分子泵在K950X中作為標準配置,此泵作為機械真空泵的后級泵,真空為全自動控制,真空度1x10-5mbar。可進行預熱及除氣控制,同時用瞬時蒸發(fā)開關使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進行。
標準的旋轉樣品臺可進行傾斜調節(jié),容易適應各種樣品座??蛇x的樣品臺具有的凹槽,可放置標準的載玻片,這在“石棉分析”需要鍍碳層時尤為有利?!?
碳棒頭在儀器中作為標準件。這是一個“快速釋放頭”,使用戶在選擇金屬蒸發(fā)附件、碳絲及光闌清洗頭時可方便地更換。放氣系統(tǒng)具有互鎖裝置,避免樣品受到干擾。渦輪分子泵可安裝在任何軸上,并且可地“關閉”直接通大氣?!?
主要特點
●全自動抽氣系統(tǒng)
●旋轉樣品臺
●菜單驅動式“用戶”鍵盤輸入
●快速釋放頭方便選擇不同的頭
●約束的排氣控制
●渦輪分子泵抽真空
●容易操作
●均勻的樣品涂層
●方便多用戶操作
●可用于蒸碳及蒸鍍金屬
●在排氣過程中可樣品損壞
●碳棒或碳絲蒸發(fā)?!?
技術參數
儀器尺寸:450mmWx350mm Dx175mmH(Overall height with Work Chamber 750mm);重量:28Kg
工作腔室:硼硅酸鹽玻璃165mm Diax125mmH
鐘罩:聚碳酸酯
鋁機座:110mm Diax115mmH
碳源:直徑3.2mm碳棒
旋轉樣品臺:直徑為60 mm,傾斜0-90o
到電距離為110mm到130mm
真空計范圍:ATM-1x10-5mbar
操作真空:1x10-2 to 1x10-5mbar
安培計:0-50 Amps
低電壓選擇:0-5V-15V-25V
除氣電流:0-25 Amps
渦輪分子泵:50L/Second
Services -Argon-Nominal 4psi。Rotary Backing Pump-Two Stage Vacuum Pump No。2,35L/Min
complete with Vacuum Hose?。Αil Mist Filter。2m3/Hr
電源:230V 50Hz(包括泵電流8安培);115V 60Hz(包括泵電流16安培)。







