URE-2000／17型光刻機(jī)
　　技術(shù)特征：
　　采用多反射鏡實(shí)現(xiàn)均勻照明；
　　采用球氣浮找平，調(diào)平高；
　　率雙目雙視場顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過程，并提供U輸出；既滿足高對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和方便存儲(chǔ)；
　　曝光波長采用純凈365nm，冷光照明（曝光面能量5mW／cm，溫度小于35度）；
　　手動(dòng)上下版、樣片，手動(dòng)調(diào)平；手動(dòng)分離間隙。
　　快門可以單獨(dú)開啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）；
　　采用200W（德國）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
　　設(shè)備外形美觀精制，性能；
　　
　　1、技術(shù)參數(shù)
　　曝光面積：100mm
　　分辨力：1.7mm（膠厚2　mm的正膠）
　　對(duì)準(zhǔn)：&plun;1mm
　　掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm；Y：6mm
　　掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
　　樣片尺寸：直徑f15mm--f100mm
　　厚度0.1mm--6mm（可擴(kuò)展為15mm）
　　照明均勻性：&plun;5％（100mm范圍）
　　掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X：&plun;5mm；Y：&plun;5mm；q：&plun;6度
　　汞燈功率：200W（直流）
　　曝光波長：365nm
　　曝光能量密度：6mW／cm（420nm以上波長小于0.2mW／cm）
　　曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式）
　　
　　2、外形尺寸：650mm（長），600mm（寬），900mm（高）
　　
　　3、配置
　　（1）曝光頭
　　200W直流高壓汞燈（德國歐司朗）
　　XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
　　光學(xué)系統(tǒng)
　　冷卻風(fēng)扇
　?。?）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
　　•掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
　　•掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
　　•轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
　　•樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動(dòng)完成
　　•樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)
　　•承片臺(tái)3個(gè)（ø50mm、ø75mm、ø100mm），掩模夾3個(gè)（3寸、4寸、5寸）
　　•掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
　?。?）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡
　　•光源、電源
　　•雙目雙視場對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
　　•目鏡3對(duì)（10倍、16倍、25倍，共6個(gè)）
　　•物鏡3對(duì)（5倍、10倍、15倍，共6個(gè)）
　　•CCD（臺(tái)灣）
　　•19寸液晶顯示器
　?。?）電控系統(tǒng)
　　•汞燈觸發(fā)電源（500W直流汞燈）
　　•單片機(jī)控制系統(tǒng)
　　•控制機(jī)箱
　　（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
　　•氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
　　•電磁閥驅(qū)動(dòng)
　　•氣動(dòng)儀表
　?。?）其他附件
　　•真空泵一臺(tái)
　　•管道。