總體規(guī)格特點
　　重量：50KG（含顯微鏡）。
　　尺寸：590mm寬＊500mm長＊700mm高（含顯微鏡）。
　　創(chuàng)見性人機(jī)學(xué)設(shè)計，便于操作工程師長時間舒適操作的操作。
　　
　　顯微鏡操控規(guī)格
　　在探針臺右側(cè)有大搖桿，提起90度后，可以使顯微鏡快速傾仰抬起，方便在測試時更換物鏡鏡頭。
　　顯微鏡后側(cè)有X／Y軸調(diào)節(jié)小搖輪，可調(diào)節(jié)顯微鏡在x-y方向的移動，移動范圍2"X2"，1micron.
　　顯微鏡Z軸帶有調(diào)焦粗旋鈕和細(xì)旋鈕，粗旋鈕方便快速調(diào)焦，細(xì)旋鈕發(fā)便調(diào)焦，使顯微鏡在Z軸方向行程50.8mm，移動1micron.
　　
　　臺面規(guī)格
　　探針臺臺面平整度：5µm.
　　探針臺左側(cè)有搖杠可以控制臺面快速上下升降6mm.在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重選擇。
　　探針臺右上方有轉(zhuǎn)輪搖桿，搖動時可使臺面線性上下升降，升降范圍25mm，1micron.在探針臺加裝探針卡點測wafer時方便對die的重定位。
　　
　　卡盤（載物臺）規(guī)格
　　6"卡盤，卡盤平整度：5µm，采用真空吸附方式吸附，帶真空吸附孔，中心孔徑 250微米（可根據(jù)客戶需求定制孔徑大?。】梢晕〕叽鐬?.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為8"X8"。
　　卡盤可360度旋轉(zhuǎn)，方便點測時樣品在X-Y軸向上調(diào)平。（根據(jù)客戶需要可定制為360度旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào)，微調(diào)為0.1度，帶角度鎖定旋鈕）。
　　卡盤座有小搖桿，提起90度后，可以使卡盤快速線性上升6mm，在做wafer點測時方便快速移動點測位置，同時做普通die或者decap后芯片點測時，方便快速更換樣品。
　　卡盤X，Y軸調(diào)節(jié)旋鈕可以控制卡盤做X-Y方向的移動，移動范圍為6"X6"，移動為1微米，為方便點測的穩(wěn)定性，帶有鎖住功能如果點測6"wafer的時候，可以6"wafer的每一點夠點測到。
　　
　　產(chǎn)品特征
　　商標(biāo) Perfictlab
　　型號 PL-D6
　　規(guī)格 6寸手動探針臺
　　產(chǎn)量 500
　　公司名稱深圳市展芯科技有限公司