ML10 Gold是的用于長度計量的激光干涉儀,其的優(yōu)點是測量功能均采用激光干涉原理,性能穩(wěn)定,使用,功能擴展,價格適中。
1、線性測量分辨率:0.001μm
2、線性測量范圍:40m(或任選80m)
3、線性測量:±0.7ppm
4、測量速度:60m/min
5、長期穩(wěn)頻:±0.05ppm
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