NanoScan光束質(zhì)量分析儀在保持BeamScan易用性和靈的基礎(chǔ)上了產(chǎn)品的主要性能，對(duì)紫外到遠(yuǎn)紅外光譜范圍內(nèi)的連續(xù)光和脈沖光均可進(jìn)行測(cè)試，探測(cè)功率可達(dá)千瓦級(jí)。
　　
　　NanoScan光束分析儀基于PCI結(jié)構(gòu)的數(shù)字控制器可以提供12比特的數(shù)字信號(hào)，可以提供35dB的光學(xué)動(dòng)態(tài)范圍。它把光束測(cè)量的和穩(wěn)定性了幾個(gè)數(shù)量級(jí)，現(xiàn)在光束尺寸和光束瞄準(zhǔn)的測(cè)量誤差達(dá)幾百個(gè)納米已成為可能。
　　
　　NanoScan的掃描速度軟件可控，采用峰值關(guān)聯(lián)算法可對(duì)連續(xù)光和KHz以上的脈沖光束進(jìn)行測(cè)量，軟件可對(duì)1-16個(gè)光束進(jìn)行亞微米的分析準(zhǔn)，而且具有ActiveX自動(dòng)控制功能，便于把NanoScan OEM到其它系統(tǒng)中。
　　
　　NanoScan系統(tǒng)有硅、鍺以及熱釋電探測(cè)器可供選擇，光譜響應(yīng)范圍從紫外到100µm以上的遠(yuǎn)紅外。其中，NanoScan光束質(zhì)量分析儀的硅和鍺探測(cè)器系統(tǒng)標(biāo)配200mW的功率計(jì)功能，測(cè)量1.5％。