優(yōu)點
降低缺陷率
實時監(jiān)測導(dǎo)致制程缺陷的粒子變化
使用移動式計數(shù)器定位粒子污染源
排除多管采樣的常見漏計錯誤
附件配備,適用于多種應(yīng)用
0.1um粒子監(jiān)測效率高于傳統(tǒng)設(shè)備
生產(chǎn)效率
存儲/導(dǎo)出采樣方案,節(jié)省潔凈室時間
通過辦公室電腦和網(wǎng)絡(luò)瀏覽器控制潔凈室監(jiān)測:
設(shè)置,采樣,顯示,打印,數(shù)據(jù),上傳采樣方案等
噪音小,有利于工作環(huán)境
可選擇9種語言顯示和打印
合ISO,F(xiàn)S或英國標(biāo)準(zhǔn)的計算統(tǒng)計和
同F(xiàn)acility Net 軟件整合,用于數(shù)據(jù)管理
告訴數(shù)據(jù)至EXCEL,PDA 或U存儲器
成本低
使用同一臺粒子計數(shù)器進行ISO Cl 1-9應(yīng)用
無需頻繁清洗激光部件
泵的使用壽命長,無需每年更換葉片
容擦拭,設(shè)計有利于將粒子截留建至少
合A/D標(biāo)準(zhǔn)的KYDEX機殼,結(jié)實,化學(xué)腐蝕
低溫激光二管使用壽命更長;激光部件保修3年
性能
激光二管
功能,噪音小,使用方便
6個粒徑通道:0.1-5.0um
可存儲多達3000套樣本參數(shù),可進行數(shù)據(jù)審核,分檢,過濾,打印
U數(shù)據(jù)至閃存卡鍵
內(nèi)置熱敏打印機
彩色液晶大顯示屏:視覺效果佳,數(shù)據(jù)顯示量大
安靜的無碳鼓風(fēng)機/泵;泵和機柜排氣過濾
可整合多達6個環(huán)境傳感器
可選購適用于ISO 1-4級潔凈度的過濾器
可選購供8小時連續(xù)移動使用的電池/充電器
應(yīng)用
潔凈室監(jiān)測
高靈敏度應(yīng)用
滿足ISO,F(xiàn)S 或英國標(biāo)準(zhǔn)的設(shè)施
LASAIR II-110規(guī)格
通道限值:0.1,0.2,0.3,0.5,1.0,5.0um
流量:1CFM
校準(zhǔn):可追蹤校準(zhǔn)材料,合NIST標(biāo)準(zhǔn)
測試方法:微分遷移分析法驗證0.1um粒子
濃度:大于500,000/立方英尺
點計數(shù):過JIS標(biāo)準(zhǔn),適用于ISO cl 1和2潔凈室
激光源:激光二管,3W(正常使用為2W)
激光冷卻:熱電冷卻,散熱片
保修:3年激光模塊保修,2年其它組件保修
通訊模式:以太網(wǎng)或RS-232;可選購4-20mA輸出版;U輸出
環(huán)境傳感器:可選購溫度/相對濕度探頭;通過4-20mA輸入整合多達4臺外部傳感器
顯示:1/4VGA彩色液晶顯示器
顯示語言:英語,法語,德語,意大利語,日語,韓語,西班牙語,中文
打印機:內(nèi)置熱敏打印機
?。簶颖敬蛴?;ISO/FS209/英國標(biāo)準(zhǔn)的潔凈室規(guī)則達標(biāo)終;多次運行平均值;警報打?。徊蓸优渲么蛴?
遠程控制:通過網(wǎng)絡(luò)瀏覽器操作設(shè)備;保存或運行采樣方案
軟件關(guān)鍵性能:采樣方案,預(yù)定采樣,歷史數(shù)據(jù)篩選,分檢和審核,保護
數(shù)據(jù)存儲:3000套數(shù)據(jù)
數(shù)據(jù)和采樣:存儲的數(shù)據(jù)記錄不可更改;采樣方案可由保護
外表面:KYDEX底盤,聚酯顯示屏,鍍鋅鋼底座均合A/D標(biāo)準(zhǔn)
清潔材料:漂白劑,甲醛,乙/異丙醇,過氧化氫
監(jiān)測清潔度:內(nèi)部過濾泵排氣和機柜排氣
尺寸:45 X 35 X 32 cm
電源:85-264V,50-60Hz
工作環(huán)境:溫度15-30攝氏度;濕度 10-85%非冷凝







