性能指標(biāo)
快速抽真空,小于2分鐘
預(yù)設(shè)的快速操作
容易的條件設(shè)置
自動真空控制
完成鍍膜,自動卸載真空,
樣品高度調(diào)節(jié)方便,
靶的尺寸:直徑50mm(Au/Pt)
電源:20V,60Hz/50Hz ,500W
離子流控制范圍:1-7mA
外形尺寸:380(W)x 250(D)x 330(H)mm
樣品室內(nèi)徑:100mm
旋片式機械真空泵:100L/min
咨詢電話SERVICE LINE
86-10-62391190
18612544035

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