設(shè)計(jì)特點(diǎn)
　　•熱式原理
　　•一體化設(shè)計(jì)
　　•滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM
　　•響應(yīng)時(shí)間不過(guò) 2秒鐘
　　•操作壓力可達(dá) 20MPa
　　•對(duì)安裝位置不敏感
　　•316SS 材質(zhì)，允許測(cè)量腐蝕性氣體
　　•無(wú)直管段安裝要求
　　•單電源供電

　　技術(shù)參數(shù)
　　流量范圍：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2，具體請(qǐng)參考表一
　　響應(yīng)時(shí)間：1～2秒
　?。?plun;1%滿量程（除 204A 型）；
　　&plun;1.5%滿量程（204A 型）
　　重復(fù)性：&plun;0.2%滿量程
　　量程比：50：1（2%-100%滿量程）
　　環(huán)境和操作溫度：-10～70℃
　　操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請(qǐng)參考表一
　　點(diǎn)漂移：&plun;0.05%滿量程/℃
　　范圍漂移：&plun;0.05%讀數(shù)/℃
　　壓力漂移：0.1%/ATM（相對(duì)于 N 2）
　　安裝方向：對(duì)位置不敏感
　　預(yù)熱時(shí)間：10分鐘
　　電氣連接：卡式（20針）或 D 型（9針）
　　設(shè)定點(diǎn)輸入流量信號(hào)輸出：0-5VDC/0-5VDC（小負(fù)載電阻 2kΩ）；
　  0-10VDC/0-10VDC（小負(fù)載電阻 3kΩ）；
　　1-5VDC/1-5VDC（小負(fù)載電阻 2kΩ）；
　　4-20mA/4-20mA（請(qǐng)參考下面的說(shuō)明）；
　　1-5VDC/4-20mA（請(qǐng)參考下面的說(shuō)明）
　　對(duì)于流量信號(hào)輸出為 4-20mA 的負(fù)載電阻：
　　環(huán)路電壓為 6.5-15VDC 時(shí)：0-450Ω
　　環(huán)路電壓為 15-30VDC 時(shí)：200-750Ω

　　供應(yīng)電源：
　　電壓輸出：＋12（&plun;5％）（適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號(hào)輸出）或＋15（&plun;10％）VDC
　　電流輸出：＋15（&plun;5％）或＋24（&plun;15％）VDC
　　電流消耗：＜250mAdc
　　重量：請(qǐng)參考表一