·三軸均采用天然黑色花崗巖材料以各軸具有相同的熱力學(xué)性能。
·預(yù)應(yīng)力空氣軸承環(huán)抱式設(shè)計,與平臺集成為一體的Y軸導(dǎo)軌和全封閉的。
·X軸、Z軸結(jié)構(gòu)、不但了機器的震性和機械,而且了機械設(shè)備卓越的動態(tài)性能和長期的穩(wěn)定性。
·模塊化設(shè)計的結(jié)構(gòu),維護其方便。橫梁采用矩形導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),的降低了橫梁的彎曲變形所帶來的非線性誤差,并能夠各個空氣軸承的對稱和匹配性,使其能夠在運動中保持良好的性和穩(wěn)定性。了機器優(yōu)異的動態(tài)特性。橫梁的護設(shè)計,了空氣軸承能夠在清潔的環(huán)境中運行,大地避免了機器故障的發(fā)生。
嚴格按國際標準(ISO)設(shè)計:
按pH10T+TP20設(shè)計的距離,了Z軸在突然下降到底端時,測頭不會碰到工作臺而損壞測頭。另外增加的Z軸前端保擴功能,使Z軸在突然斷氣和通氣時不至于下落。大的了機器的性







