TROPEL平坦度檢測儀的特色及優(yōu)點：
•測量原理
-斜角入射干涉
•非接觸式檢測
-無破壞，無污染，不變形
•準確
-提供測量
•快速反應3～5秒出結(jié)果
-允許快速顯影，進行工藝監(jiān)控
-在制造中如出現(xiàn)質(zhì)量問題，可快速停止操作，不良品的出現(xiàn)
•靈活易操作，檢測品無
•快速提供的N次微觀計檢測
•NIST跟蹤系統(tǒng)進行校準和確認反常信號
-在臨界處也能檢測數(shù)據(jù)的完整
•多功能用途
-在實驗室或車間進行較寬物體的平坦度檢測
-擴散表面無問題
-30μm動態(tài)范圍（定單延伸范圍～100μm）
•廣泛的應用范圍：
-半導體行業(yè)——晶圓（Si，SiC，砷化鎵，藍寶石，氮化鎵），磁盤，光罩等；
-工業(yè)——燃料器（噴油嘴），滾動軸承，離合器，密封件等；
•多種被測物材料
-陶瓷，金屬，玻璃，聚合物等
-經(jīng)研磨，拋光，蝕刻等過程后的部件
•標準測量
-平坦度，譜線輪廓，球面半徑等。
•測量原理
-斜角入射干涉
•非接觸式檢測
-無破壞，無污染，不變形
•準確
-提供測量
•快速反應3～5秒出結(jié)果
-允許快速顯影，進行工藝監(jiān)控
-在制造中如出現(xiàn)質(zhì)量問題，可快速停止操作，不良品的出現(xiàn)
•靈活易操作，檢測品無
•快速提供的N次微觀計檢測
•NIST跟蹤系統(tǒng)進行校準和確認反常信號
-在臨界處也能檢測數(shù)據(jù)的完整
•多功能用途
-在實驗室或車間進行較寬物體的平坦度檢測
-擴散表面無問題
-30μm動態(tài)范圍（定單延伸范圍～100μm）
•廣泛的應用范圍：
-半導體行業(yè)——晶圓（Si，SiC，砷化鎵，藍寶石，氮化鎵），磁盤，光罩等；
-工業(yè)——燃料器（噴油嘴），滾動軸承，離合器，密封件等；
•多種被測物材料
-陶瓷，金屬，玻璃，聚合物等
-經(jīng)研磨，拋光，蝕刻等過程后的部件
•標準測量
-平坦度，譜線輪廓，球面半徑等。
