SD系列射頻電源：適用于采用高頻單激發(fā)的等離子體化學(xué)氣相淀積設(shè)備、等離子體噴涂設(shè)備、等離子體刻蝕設(shè)備、反
應(yīng)離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負(fù)載的等離子體設(shè)備。
技術(shù)特點：
本電源采用它激振蕩，晶體穩(wěn)頻，頻率13.56KHz，采用金屬陶瓷四管功率輸出，輸出功率連續(xù)可調(diào)，具有相應(yīng)的自匹配器，自動匹配網(wǎng)絡(luò)使輸出功率加到反應(yīng)室，匹配范圍大，具有反射功率（Pr）保護電路，具備過載短路的能力，并能方便的讀出入射功率、反射功率。
應(yīng)離子刻蝕機、等離子體去膠機、等離子體清洗機等感性及容性輸出負(fù)載的等離子體設(shè)備。
技術(shù)特點：
本電源采用它激振蕩，晶體穩(wěn)頻，頻率13.56KHz，采用金屬陶瓷四管功率輸出，輸出功率連續(xù)可調(diào)，具有相應(yīng)的自匹配器，自動匹配網(wǎng)絡(luò)使輸出功率加到反應(yīng)室，匹配范圍大，具有反射功率（Pr）保護電路，具備過載短路的能力，并能方便的讀出入射功率、反射功率。
