CMI760可用于測(cè)量表面銅和穿孔內(nèi)銅厚度。這款高擴(kuò)展性的臺(tái)式測(cè)厚儀系統(tǒng)能采用微電阻和電渦流兩種方法來(lái)對(duì)表面銅和穿孔內(nèi)銅厚度準(zhǔn)確和的測(cè)量。CMI 760臺(tái)式測(cè)量系統(tǒng)具有高的多功能性和可擴(kuò)展性,對(duì)多種探頭的兼容使其滿足了包括表面銅、穿孔內(nèi)銅和微孔內(nèi)銅厚度的測(cè)量、以及孔內(nèi)銅質(zhì)量測(cè)試的多種應(yīng)用需求。
同時(shí)CMI760具有的統(tǒng)計(jì)功能用于測(cè)試數(shù)據(jù)的整理分析。
技術(shù)參數(shù)
SRP-4面銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù):
銅厚測(cè)量范圍:
化學(xué)銅:10μin–500μin(0.25μm–12.7μm)
電鍍銅:0.1 mil–6 mil(2.5μm–152μm)
線形銅可測(cè)試線寬范圍:8 mil–250 mil(203μm–6350μm)
準(zhǔn)確度:&plun;1%(&plun;0.1μm)參考標(biāo)準(zhǔn)片
度:化學(xué)銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.2%;電鍍銅:標(biāo)準(zhǔn)差0.5%
分辨率:0.01 mils≥1 mil,0.001 mils<1 mil,
0.1μm≥10μm,0.01μm<10μm,0.001μm<1μm
ETP孔銅探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù):
可測(cè)試小孔直徑:35 mils(899μm)
測(cè)量厚度范圍:0.08–4.0 mils(2–102μm)
電渦流原理:遵守ASTM-E376-96標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)規(guī)定
準(zhǔn)確度:&plun;0.01 mil(0.25μm)<1 mil(25μm)
度:1.2 mil(30μm)時(shí),1.0%(實(shí)驗(yàn)室情況下)
分辨率:0.01 mils(0.1μm)
TRP-M(微孔)探頭測(cè)試技術(shù)參數(shù):
小可測(cè)試孔直徑范圍:10–40 mils(254–1016μm)
孔內(nèi)銅厚測(cè)試范圍:0.5-2.5mils(12.7-63.5μm)
可測(cè)試板厚:175mil(4445μm)
小可測(cè)試板厚:板厚的小值須比所對(duì)應(yīng)測(cè)試線路板的小孔孔徑值高3mils(76.2μm)
準(zhǔn)確度(對(duì)比金相檢測(cè)法):&plun;0.01 mil(0.25μm)<1 mil(25μm)
&plun;10%≥1mil(25μm)
度:不建議對(duì)同一孔進(jìn)行多次測(cè)試
分辨率:0.01 mil(0.1μm)


