產(chǎn)品介紹:
PV-2000系列無(wú)接觸硅片厚度TTV電阻率綜合測(cè)試系統(tǒng)為太陽(yáng)能/光伏硅片及其他材料提供快速、多通道的厚度、（總厚度變化）TTV、彎曲度及無(wú)接觸電阻率測(cè)量功能。并提供基于TCP/IP的數(shù)輸接口及基于Windows的控制軟件，用以進(jìn)行在線及離線數(shù)據(jù)管理功能。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 使用MTI Instruments的推/拉電容探針技術(shù)
■ 每套系統(tǒng)提供多三個(gè)測(cè)量通道
■ 可進(jìn)行、小、平均厚度測(cè)量和TTV測(cè)量
■ 可進(jìn)行翹曲度測(cè)量（需要3探頭）
■ 用激光傳感器進(jìn)行線鋸方向和深度（可選）
■ 集成數(shù)據(jù)采集和電氣控制系統(tǒng)
■ 為工廠測(cè)量提供快速以太網(wǎng)通訊接口，速率為每秒5片
■ 可增加的直線厚度掃描數(shù)量
■ 與現(xiàn)有的硅片處理設(shè)備有數(shù)字I/O接口
■ 基于Windows的控制軟件提供離線和在線的數(shù)據(jù)監(jiān)控
■ 提供標(biāo)準(zhǔn)及客戶定制的探頭
■ 提供基于Windows的動(dòng)態(tài)鏈接庫(kù)用于與控制電腦集成
■ 無(wú)接觸，用渦電流法測(cè)量硅片電阻率
技術(shù)參數(shù)：
■ 晶圓硅片測(cè)試尺寸：50mm- 300mm.
■ 厚度測(cè)試范圍：1.7mm，可擴(kuò)展到2.5mm.
■ 厚度測(cè)試：+/-0.25um
■ 厚度重復(fù)性：0.050um
■ 測(cè)量點(diǎn)直徑：8mm
■ TTV測(cè)試: +/-0.05um
■ TTV重復(fù)性: 0.050um
■ 彎曲度測(cè)試范圍：+/-500um [+/-850um]
■ 彎曲度測(cè)試：+/-2.0um
■ 彎曲度重復(fù)性：0.750um
■ 電阻率測(cè)量范圍：0.1-50ohm-cm
■ 電阻率測(cè)量：2%
■ 電阻率測(cè)量重復(fù)：1%
■ 晶圓硅片類型：?jiǎn)尉Щ蚨嗑Ч?/span>
■ 可用在：切片后、磨片前、后，蝕刻，拋光以及出廠、入廠質(zhì)量檢測(cè)等
■ 平面/缺口：的半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)平面或缺口
■ 連續(xù)5點(diǎn)測(cè)量
典型客戶:
美國(guó)，歐洲，亞洲及國(guó)內(nèi)太陽(yáng)能及半導(dǎo)體客戶。
詳情歡迎來(lái)電咨詢：
北京合能陽(yáng)光新能源技術(shù)有限公司
北京市通州區(qū)工業(yè)開發(fā)區(qū)光華路16號(hào)
電話： -104 傳真：-608
聯(lián)系人：肖經(jīng)理 QQ：454972757
Email：
公司網(wǎng)站：https://www.HenergySolar.com
