設(shè)計(jì)特點(diǎn)　
·　熱式原理　
·　一體化設(shè)計(jì)　
·　滿(mǎn)量程從5SCCM到1000SLPM　
·　響應(yīng)時(shí)間不過(guò)2秒鐘　
·　操作壓力可達(dá)20MPa　
·　對(duì)安裝位置不敏感　
·　316SS材質(zhì)，允許測(cè)量腐蝕性氣體　
·　無(wú)直管段安裝要求　
·　單電源供電　

技術(shù)參數(shù)　
流量范圍：從0-5SCCM到0-1000SLPM　N　2，具體請(qǐng)參考表一　
響應(yīng)時(shí)間：1～2秒
：±1％滿(mǎn)量程（除204A型）；
---------±1.5％滿(mǎn)量程（204A型）
重復(fù)性：±0.2％滿(mǎn)量程
量程比：50：1（2％-100％滿(mǎn)量程）
環(huán)境和操作溫度：-10～70℃
操作壓力：3000PSIG（20MPa），具體請(qǐng)參考表一
點(diǎn)漂移：±0.05％滿(mǎn)量程／℃
范圍漂移：±0.05％讀數(shù)／℃
壓力漂移：0.1％／atm（相對(duì)于N2）
安裝方向：對(duì)位置不敏感
預(yù)熱時(shí)間：10分鐘
電氣連接：卡式（20針）或D型（9針）
設(shè)定點(diǎn)輸入流量信號(hào)輸出：0-5VDC／0-5VDC（小負(fù)載電阻2KΩ）；
-------------------------0-10VDC／0-10VDC（小負(fù)載電阻3KΩ）；
-------------------------1-5VDC／1-5VDC（小負(fù)載電阻2KΩ）；
-------------------------4-20mA／4-20mA（請(qǐng)參考下面的說(shuō)明）；
-------------------------1-5VDC／4-20mA（請(qǐng)參考下面的說(shuō)明）
對(duì)于流量信號(hào)輸出為4-20mA的負(fù)載電阻：
環(huán)路電壓為6.5-15VDC時(shí)：0-450Ω
環(huán)路電壓為15-30VDC時(shí)：200-750Ω
供應(yīng)電源：
電壓輸出：＋12（±5％）（適用于0-5VDC和1-5VDC流量信號(hào)輸出）或＋15（±10％）VDC
電流輸出：＋15（±5％）或＋24（±15％）VDC
電流消耗：＜250mAdc
重量：請(qǐng)參考表一