?。吞?hào):FUNION 564
*行程:X軸500mm、Y軸600mm、Z軸400mm
?。Y(jié)構(gòu)型式:活動(dòng)橋式
?。獋鲃?dòng)方式:直流伺服系統(tǒng)+預(yù)載荷高空氣軸承
?。L(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng):RENISHAW開放式光柵尺,分辨率為0.5μm
?。獧C(jī)臺(tái):高(00級(jí))花崗巖平臺(tái)
?。褂铆h(huán)境:溫度(20&plun;2)℃,濕度55%-65%,溫度梯度1℃/m,溫度變化1℃/h
?。諝鈮毫Γ?.4MPa-0.5Mpa
?。諝饬髁浚?20L/min–140L/min
?。麢C(jī)尺寸(LWH):1.2mX1.4mX2.3m
*機(jī)臺(tái)承重:500kg
?。麢C(jī)重量:850Kg
?。臻g測(cè)量:(2.80+L/300)μm







