Brooks提供面向各種應(yīng)用需求和真空測量范圍的真空測量方案。Granville-Phillips規(guī)管、電子氣件、模塊化真空產(chǎn)品，和量身定制的解決方案呈現(xiàn)出適應(yīng)性廣，性和特性，從而滿足各種市場需求，這些應(yīng)用包括半導(dǎo)體及相關(guān)工藝、分析儀器和科研院校的研究和工業(yè)制造。

      Granville-Phillips產(chǎn)品線覆蓋從10^-10Torr到大氣壓的真空測量范圍。我們的產(chǎn)品設(shè)計(jì)適用于本地和遠(yuǎn)程控制的要求，或者是柜式安裝形式的控制器或者本地模塊化的測量方案。同時(shí)，Granville-Phillips還可以從簡單的模擬量信號(hào)到各種數(shù)字通訊協(xié)議的多種輸出形式特性選擇。增加本地 顯示和遠(yuǎn)程控制I/O功能可以顯著減少系統(tǒng)集成成本。如果性、穩(wěn)定性和性是您的真空制程系統(tǒng)和產(chǎn)能，那么Granville-Phillips就是您的真空計(jì)系統(tǒng)的選擇。

       835 VQM TM（真空質(zhì)量監(jiān)控儀）分壓泵系統(tǒng)。Granville-Phillips的分壓系統(tǒng)是獲獎(jiǎng)的真空質(zhì)量監(jiān)控儀（VQMTM ）的真空壓力范圍擴(kuò)展產(chǎn)品。其具有VQM的優(yōu)勢特點(diǎn)，包括響應(yīng)速度快和使用便捷，可用于工藝檢測和工藝控制。

優(yōu)勢特點(diǎn)：

• 工作壓力從3Torr到5x10-9 Torr
• 在85毫秒內(nèi)完成質(zhì)量數(shù)從1到145的氣體分析壓力測量；并可提供1到300質(zhì)量數(shù)范圍的測量
• 可提供所識(shí)別的個(gè)比例的氣體成分的即時(shí)信息包括趨勢圖
• 的氫氣和氦氣檢測（無低質(zhì)量數(shù)成分測量分壓全壓現(xiàn)象）
• 85毫秒內(nèi)完成1-145質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄；120毫秒內(nèi)完成1-300質(zhì)量數(shù)樣本數(shù)據(jù)的記錄
• 可利用真空系統(tǒng)內(nèi)已有的氣體進(jìn)行單一氣體校準(zhǔn)
• 緊湊型結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可靈活安裝

GUTS ®支持體系

Granville Phillips產(chǎn)品均有GUTS（不受版權(quán)保護(hù)或相似自由的支持）的快速響應(yīng)網(wǎng)絡(luò)提供強(qiáng)大支持以及我們的客戶支持計(jì)劃的支持。當(dāng)您致電GUTS服務(wù)中心時(shí)，我們從技術(shù)支持人員中精心挑選出來的真空將立即為您提供令人滿意的解答和操作。我們每天365天、每天24小時(shí)全天候?yàn)槟哒\服務(wù)。如果在美國，請撥打1-800-FOR-GUTS（800-367-4887）。