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日本三豐518 系列高度儀Linear Height,2D 測(cè)量系統(tǒng),分辨率/重復(fù)為0.1/0.5μm 時(shí),可(1.3+0.6L/600)μm。垂直度(前部) 達(dá)6μm,直線度達(dá)4μm。全/半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊。帶有基本統(tǒng)計(jì)功能, 另外,通過(guò)RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC 軟件的電腦相連,可實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估。半自動(dòng)測(cè)量時(shí)具有單鍵操作功能。






