的全鋁技術(shù),橫梁與Z軸采用表面硬質(zhì)陽化航空鋁合金,溫度一致性;并降低了運動部件的品質(zhì)和測量機在運行時的慣性,高;
三軸導(dǎo)軌均采用高自潔式空氣軸承,運動更平穩(wěn),導(dǎo)軌受磨損;
三軸均采用高歐洲光學(xué)尺,系統(tǒng)解析度可達0.078um;同時采用一端固定,一端自由伸縮的方式安裝,減少了光學(xué)尺的變形,在溫度變化時的線性伸縮;
X軸采用精密60° 三角梁技術(shù),相比矩形橫梁,重心更低,品質(zhì)剛性比,運動更加;
Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌,在降低機器重量的同時,消除了運動扭擺,了測量和穩(wěn)定性;
Z向采取獲得的氣動平衡技術(shù),采用柔性懸掛系統(tǒng),避免了軸向運動和傳動系統(tǒng)之間的干涉問題,了測量機的和長期穩(wěn)定性;
各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動+增強型同步帶,運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確定位。







