半自動探針臺與測試儀配接后，能自動完成對芯片的電參數(shù)測試。
技術(shù)性能：
1. 采用計算機，Windows操作系統(tǒng)，動態(tài)顯示測試過程；
2. TTL接口，IEEE488接口；
3. MAP圖顯示、支持大量數(shù)據(jù)存儲；
4. 具有同步打點、打點、離線打點功能；
5. 具有編輯、矩陣、環(huán)形、圓形等多種自動測試方式；
6. 適合對光敏感器件的遮光測試。
技術(shù)指標：
性能名稱 | 技術(shù)指標 | |
可測片徑 | 4″、5″、6″ | |
工作臺 | 行程 | |
定位 | ≤±0.015mm | |
步進分辨率 | ||
承片臺 | Z向行程 | 8mm |
Z向定位 | ≤±0.005mm | |
Z向分辨率 | ||
θ向調(diào)節(jié)范圍 | ±10 o | |
θ向分辨率 | 0.001 o | |
觀察裝置 | 雙目體視顯微鏡，放大倍數(shù)7.5X～45X | |
遮光罩裝置（適合對光敏感器件的遮光測試） | （選配） | |
上、下圓片方式 | 手動方式 | |
外形尺寸（寬×深×高） | 750mm×700mm×1500mm | |
環(huán)境要求：
1. 電源：AC 220V±22V 50Hz±1Hz，功率：＜0.8KW，真空：< -80 KPa
2. 使用環(huán)境：溫度：10oC-30oC 濕度：＜60%
設(shè)備外形：
