產(chǎn)品介紹：P-20R 卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)

P-20R卷對卷等離子系統(tǒng)是一款專門配備連續(xù)給料驅(qū)動的等離子系統(tǒng)，適用于連續(xù)柔性基片及卷裝材料。卷對卷等離子系統(tǒng)可以喂入寬幅為50.8毫米至609毫米，軸徑為254毫米的成卷材料。

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)縱覽

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)提供較高的重復(fù)性、可靠性、長壽命，以及維護(hù)成本低等特點。反應(yīng)離子刻蝕（RIE）電極提供了的定向等離子體刻蝕效果。

在大型全鋁真空艙內(nèi)進(jìn)行卷對卷等離子刻蝕，艙內(nèi)可容納較大等離子處理空間。

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)特點

配備的標(biāo)準(zhǔn)真空泵是特別準(zhǔn)備氧氣服務(wù)，是一款全備氮氣N2吹掃功能的卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)；可防止任何腐蝕性殘留物質(zhì)在真空泵內(nèi)形成，從而延長了真空泵的使用壽命，減少了維護(hù)周期。等離子處理成卷材料，無論大小，PTFE，聚酰胺，軟硬結(jié)合電路，你會發(fā)現(xiàn)所有這些材料均被均勻地蝕刻和清洗，等離子處理完畢以備下一個生產(chǎn)工藝步驟使用。

簡單易用，直觀的觸摸屏界面提供等離子操作界面，控制等離子刻蝕的各個方面，確保等離子工藝的可靠性和重復(fù)性。

P-20R卷對卷等離子體系統(tǒng)一般是用來等離子體處理成卷材料。處理材料運輸裝置配有制動系統(tǒng)，張力控制和速度控制單元。 雙微機操作控制系統(tǒng)控制記錄等離子工藝參數(shù)及控制操作，另外控制材料運輸裝置參數(shù)。卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)占板面積會根據(jù)材料運輸裝置的情況有所不同。

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)規(guī)格

標(biāo)準(zhǔn)卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)特點
電極設(shè)置：水平定向RIE（反應(yīng)離子刻蝕） 183厘米水平電極；
射頻電源：3000瓦@13.56MHz射頻電源，自動匹配網(wǎng)絡(luò)；
工藝過程溫度控制：677攝氏度~1649攝氏度；
工藝氣體控制：雙通道0-2000 CC /分鐘 質(zhì)量流量控制器 （MFC）；
氣壓監(jiān)控：多達(dá)4通道低氣體報警器；
真空監(jiān)測系統(tǒng)：皮拉尼真空計0-1托；
控制器系統(tǒng)：微處理器系統(tǒng)，多序列存儲功能；
真空泵浦系統(tǒng)：59CFM氧氣服務(wù)真空泵系統(tǒng)；真空泵增壓風(fēng)機355 CFM ，配備3微米真空泵油濾芯，自動氮氣N2吹掃功能；可控N2(氮氣)真空艙吹掃流量；真空泵油霧分離器；
雙處理序列；

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)配套卷裝材料運送單元
開環(huán)張力控制驅(qū)動電機，配備磁粉離合器；
閉環(huán)速度控制鐵磁流體真空饋通；
卷數(shù)記，線速度，張力設(shè)定點手動或自動的慢跑/速度控制；

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)規(guī)格
電源：220 VAC/1/50Hz
系統(tǒng)重量（等離子刻蝕系統(tǒng)/真空泵）900/70公斤
等離子刻蝕系統(tǒng)外部尺寸：305cm X 115cm X 200cm
真空泵外部尺寸： 41cm X  76cm X 43cm

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)設(shè)備外部安裝要求
壓縮空氣:0.55~0.70 MPa，14升/分鐘
卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)環(huán)境溫度：29攝氏度
卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)工藝氣體：0.17~0.21MPa,
閉環(huán)冷卻水源

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)其它可選配置
計算機控制系統(tǒng)/觸摸屏數(shù)據(jù)、事件查看、打印；
信號燈塔；
干式真空泵79/355CFM
真空節(jié)氣門控制器；
質(zhì)量流量控制器，多達(dá)4通道；
根據(jù)客戶的規(guī)格定制真空艙和電極

卷對卷等離子刻蝕系統(tǒng)其它可選配置
冷卻水再循環(huán)閉環(huán)
煙氣洗滌塔填料床
壓縮空氣干燥機（吹掃氣體發(fā)生器）

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