制作工藝：

集成

輸出信號(hào)：

模擬型

本產(chǎn)品既能測(cè)量頻率從0--7.5KHz的機(jī)械振動(dòng)位移,又可測(cè)量小至0.6納米級(jí)的機(jī)械位移和零件尺寸.測(cè)量是非接觸的,故特別適合一般儀器不能勝任的旋轉(zhuǎn)軸式或不受力的小型.線型.薄壁或怕劃傷的精密零部件的靜態(tài),動(dòng)態(tài)和在線測(cè)量.曾獲得國際尤里卡發(fā)明獎(jiǎng).國家發(fā)明獎(jiǎng).國家科技進(jìn)步獎(jiǎng)
      主要技術(shù)指標(biāo);
      1.量程；    6微米    10微米    20微米   50微米   60微米  80 微米   100微米    200微米  300微米  400微米  500微米    600微米  800  微米  1000微米     2000微米   3000微米   4000  微米  5000微米    6000微米                                    2.分辨率; 0.01%FSO   
      3.測(cè)量頻率范圍; 0--7.5KHz
      4.非線性; <+0.25%      5.溫漂;0.05%/FSO(開機(jī)預(yù)熱20分鐘)   6.工作溫度;-20--+250度
      7.輸出信號(hào); + 5.00V        8.電源;  ~220V                         儀器應(yīng)用舉例;
      1.旋轉(zhuǎn)軸的徑向跳動(dòng),軸向竄動(dòng)和回轉(zhuǎn)
      2.往復(fù)機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)特性和重復(fù)定位
      3正弦波激振和抹脈沖激振中振動(dòng)測(cè)量
      4機(jī)械零部件的相對(duì)振動(dòng)和變形
      5盤類零部件的端面振擺動(dòng)
      6軸承間隙和油膜厚度
      7線切割機(jī)床的電極絲的振動(dòng)
      8機(jī)床主軸熱位移與動(dòng)態(tài)加載試驗(yàn)測(cè)量
      9檢測(cè)零部件尺寸和平直度
      儀器傳感器能微調(diào)測(cè)量初始間隙,安裝方便,操作簡單,適宜測(cè)量多種材料,適應(yīng)高壓.高磁場(chǎng)等惡劣環(huán)境