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電容位移傳感器ZNXsensor 電容位移傳感器
電容位移傳感器是一種非接觸式的電容位移傳感器；兩個傳感器板形成一個平行板電容器，每個電容位移傳感器可用在兩個不用的測量范圍；納米分辨率；零磁滯。
電容位移傳感器應(yīng)用領(lǐng)域：
壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠(yuǎn)鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測量等。
電容位移傳感器主要特點：
量程20～1250μm；
分辨率<0.1nm；零磁滯；
線性0.02%；
頻帶可調(diào)：50～5000Hz；靈敏度可調(diào)；
真空兼容選項；
