- 產(chǎn)品品牌：
- 美國NANOVEA
- 產(chǎn)品型號：
- MIT
美國NANOVEA微米壓痕測試儀 隨著納米技術(shù)的進步和薄膜工藝的發(fā)展（太陽能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等），納米力學(xué)測試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進了傳統(tǒng)硬度測試的不足，通過極尖的壓劃頭，高的空間分辨率和的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以測量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測試。 美國NANOVEA公司是一家公認(rèn)的壓痕測試儀的領(lǐng)航者，生產(chǎn)的壓痕測試儀是目前國際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域先進的設(shè)備，主要應(yīng)用在：半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬、Bond Pads)；存儲材料(磁盤的保護層、磁盤基底上的磁性涂層、CD的保護層)；光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖、光學(xué)刮擦保護層)；金屬蒸鍍層；防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具)；藥理學(xué)(藥片、植入材料、生物組織)；工程學(xué)(油漆涂料、橡膠、觸摸屏、MEMS)等行業(yè)； 特點：主要用于微米尺度薄膜材料的硬度與楊氏模量測試，測試結(jié)果通過壓入載荷大小與壓入深度的曲線計算得出，無需通過顯微鏡觀察壓痕面積。 ·完全符合ISO14577、ASTME2546 ·光學(xué)顯微鏡自動觀察 ·獨特的熱漂移控制技術(shù) ·可測量硬度、楊氏模量、壓入深度-載荷的曲線圖、彈塑性、蠕變性能等力學(xué)參數(shù) ·適時測量載荷大小 ·采用獨立的載荷加載系統(tǒng)與高分辨率的電容深度傳感器 ·快速的壓電陶瓷驅(qū)動的載荷反饋系統(tǒng) ·雙標(biāo)準(zhǔn)校正：熔融石英與藍(lán)寶石 技術(shù)參數(shù)
| 載荷范圍 | 0.05 – 40 N |
| 載荷分辨率(噪聲條件) | 0.75mN(可選0.5mN) |
| 摩擦力 | 40N |
| 摩擦力分辨率（噪聲條件） | 0.75mN(可選0.5mN) |
| 穿透深度（非接觸傳感器） | 300μm |
| 理論深度分辨率（非接觸傳感器） | 0.2nm |
| 噪聲條件下深度分辨率（非接觸傳感器） | 3nm |
| Z軸穿透深度（標(biāo)準(zhǔn)/緊湊） | 50/25mm |
| Z軸穿透深度分辨率 | 2.5nm |
