| 型號 | WN101TM13H |
特點:
⊕不銹鋼材質精密加工 ⊕高基座和臺面,保證臺子的直線度,偏擺,俯仰,運動平行度 ⊕高小分辨率測微頭保證產(chǎn)品在納米級的微位移調整 |
| 臺面尺寸 | 40mm×40mm | |
| 驅動方式 | 測微頭 | |
| 驅動位置 | 中央驅動 | |
| 行程 | 13mm | |
| 小刻度 | 10μ/0.5μ | |
| 3μ/1.5μ | ||
| 小調整量 | (參考)2μ/0.1μ | |
| 導軌形式 | 交叉滾柱導軌 | |
| 承載 | 8kg | |
| 直線度 | 2μ | |
| 偏擺 | 25″ | |
| 俯仰 | 15″ | |
| 臺面平行度 | 15μ | |
| 運動平行度 | 8μ | |
| 自重 | 0.24kg | |
| 材料 | 不銹鋼 | |
| 表面處理 | 陽極氧化 |







