- 產(chǎn)品品牌:
- 韓國(guó)COXEM
- 類型:
- 電子顯微鏡
一、情況簡(jiǎn)介 :
CX-200系列掃描電鏡是在CX-100技術(shù)基礎(chǔ)上,創(chuàng)新調(diào)整了產(chǎn)品構(gòu)架,性能進(jìn)一步提高,達(dá)到世界當(dāng)前同類產(chǎn)品的水平。作為COXEM公司新主力型產(chǎn)品,共分為4個(gè)標(biāo)準(zhǔn)化子型號(hào)。
CX-200TA型全自動(dòng)掃描電鏡:渦輪分子泵+自動(dòng)臺(tái)
CX-200DA型全自動(dòng)掃描電鏡:油擴(kuò)散泵+自動(dòng)臺(tái)
CX-200TM型半自動(dòng)掃描電鏡:渦輪分子泵+手動(dòng)臺(tái)
CX-200DM型半自動(dòng)掃描電鏡:油擴(kuò)散泵+手動(dòng)臺(tái)
“由于擴(kuò)散泵對(duì)于真空環(huán)境的污染,造成儀器性能減退顯著,需要提高3倍以上維護(hù)頻率,對(duì)于大多數(shù)用戶來(lái)說(shuō),是不愿意接受的;另外真空環(huán)境污染造成樣品在高倍觀察時(shí),產(chǎn)生碳沉積,影響圖像分辨率。因此從科學(xué)發(fā)展角度,從市場(chǎng)用戶的實(shí)際需要出發(fā),COXEM暫不對(duì)外出售CX-200D系列產(chǎn)品。” 具有世界一流技術(shù)水平的CX-200系列高性能大型鎢燈絲掃描電鏡,適合多種需求類型的客戶選購(gòu)。
在選購(gòu)時(shí),您需要考慮的問(wèn)題,工作效率:
掃描電鏡優(yōu)劣評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn),是掃描電鏡的工作效率高低(這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)是DEMA馳奔定義),儀器客觀的工作效率是由儀器的軟硬件決定的,當(dāng)基本的功能指標(biāo)都相同或者相似,其中對(duì)效率影響的兩個(gè)因素,是真空系統(tǒng)的清潔程度和樣品臺(tái)的自動(dòng)化程度。CX-200系列四個(gè)標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)掃描電鏡根據(jù)以上兩個(gè)重要因素,進(jìn)行組合而成。
馳奔對(duì)掃描電鏡工作效率簡(jiǎn)單分析如下:
1、搜索樣品感興趣點(diǎn)的速度,樣品臺(tái)自動(dòng)化程度越高,效率越高。計(jì)算機(jī)導(dǎo)航坐標(biāo)定位馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)要優(yōu)于單純的馬達(dá)驅(qū)動(dòng),馬達(dá)驅(qū)動(dòng)要優(yōu)于手動(dòng)。對(duì)于樣品全面分析檢測(cè),統(tǒng)計(jì)特征點(diǎn),自動(dòng)臺(tái)體現(xiàn)高效率。當(dāng)然如果您的樣品放進(jìn)去,只是選擇一兩個(gè)區(qū)域來(lái)照相,自動(dòng)臺(tái)意義不大。
2、高質(zhì)量圖像獲得的效率:電子光學(xué)系統(tǒng)的自動(dòng)化,或者更高的性能來(lái)提高效率。如熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡看2萬(wàn)倍,可以在2TV掃描速度下,清晰成像,而鎢燈絲大型掃描電鏡看2萬(wàn)倍圖像,要清晰成像,光保存一幀圖像需要20秒以上,還不要說(shuō)調(diào)整電子光學(xué)參數(shù)的功夫,如果不明就里,拿過(guò)來(lái)兩個(gè)圖像來(lái)比較,可能很難分出伯仲,因此有的人會(huì)說(shuō),在2萬(wàn)倍水平上,鎢燈絲掃描電鏡和場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡區(qū)別不大,這個(gè)前提就是忽略客戶的效率需求,比如工廠做晶圓上的芯片檢測(cè),這里邊就有了效率需要,雖然一般檢測(cè)可能只看2萬(wàn)倍,但對(duì)效率提出很苛刻的要求,鎢燈絲根本不能勝任。
3、系統(tǒng)真空獲得的效率:渦輪分子泵相對(duì)擴(kuò)散泵具有明顯優(yōu)勢(shì)。
3.1、眾所周知,渦輪分子泵可隨時(shí)開(kāi)關(guān)機(jī),油擴(kuò)散泵開(kāi)關(guān)機(jī)受到泵油升溫和冷卻的限制(開(kāi)關(guān)機(jī)一個(gè)來(lái)回至少要等50分鐘),因此要么就開(kāi)一天,要么一開(kāi)就至少半天,半天如果只需要做一個(gè)小樣,照一張照片,那效率就更低了;除非擴(kuò)散泵長(zhǎng)期不關(guān)機(jī),例如2-3個(gè)月,真空泵總保持啟動(dòng),那么效率還是很高的,這需要特殊照顧。
3.2、真空潔凈度對(duì)效率影響:渦輪分子泵真空潔凈度遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于油擴(kuò)散泵。泵油蒸汽分子,在電子束作用下分解為碳?xì)浠?,污染樣品和末?jí)光闌。電子束掃描樣品時(shí),會(huì)被電子束誘導(dǎo)沉積到正在觀察的樣品區(qū)域表面,越高倍,沉積速度越快,污染降低se產(chǎn)額,從而降低成像分辨率;末級(jí)光闌在電子束作用下,容易沉積污染物,污染的隨機(jī)變化,在高倍引起的象散需要隨時(shí)進(jìn)行校正。往往高倍需要逐級(jí)消象散,在一個(gè)區(qū)域調(diào)節(jié)電鏡參數(shù)到,然后迅速電位移到就近區(qū)域掃描存儲(chǔ)圖像,這降低操作效率
3.3、也同樣是污染的原因,擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)掃描電鏡需要的維護(hù)周期要短得多,一般建議3個(gè)月維護(hù),而同樣工作條件,渦輪分子泵真空系統(tǒng)的一般建議是1年維護(hù)。
綜上所述:在操作周期內(nèi)對(duì)效率影響的因素,自動(dòng)化程度越高,效率越高。應(yīng)該是樣品臺(tái)的自動(dòng)化程度和真空潔凈程度;電子光學(xué)性能需要定位,5000倍以下,不明顯,5000倍以上就顯示高分辨和自動(dòng)化的優(yōu)勢(shì)。 通過(guò)以上簡(jiǎn)單分析,對(duì)CX-200系列型號(hào)作如下推薦,原則是不至于讓您感到特別疲倦,讓您專注于材料的特征觀察分析。
1、如果您有大量的樣品要做,但要求管理維護(hù)簡(jiǎn)單方便,應(yīng)該選擇效率的CX-200TA型,
2、如果您有大量的樣品要做,同時(shí)可以接受較短的維護(hù)周期,可以選擇CX-200DA型
3、如果您的樣品量不算大,但隨時(shí)想看,又不希望花過(guò)大精力照顧掃描電鏡,請(qǐng)選擇 CX-200TM型
4、如果您的樣品量不算大,可以安排專門操作人員“照顧”掃描電鏡,可以選擇更加經(jīng)濟(jì)的CX-200DM型
二、CX-200系列掃描電鏡主要功能特點(diǎn):
CX-200系列中檔分析型掃描電鏡的卓越配置
硬件使用包括:水平的電子光學(xué)系統(tǒng),中型樣品分析室,五軸精密或者超級(jí)精密機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái),高速渦輪分子泵真空系統(tǒng)或者高速油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng),先進(jìn)的SMT電路板制作工藝全數(shù)字化電器設(shè)備。
計(jì)算機(jī)及操作軟件使用新的CX-200納米工作站,輕爽操作體驗(yàn)。 2.1、可實(shí)現(xiàn)功能:標(biāo)配SE形貌像,可選配 BSE探測(cè)器成像,WDS, EDS微區(qū)元素分析,+CCD樣品室監(jiān)控
2.2、基本性能特點(diǎn) (1)、分辨率( 3.0nm@ 30kv ,10nm@ 3kv),錐形物鏡,長(zhǎng)焦性能優(yōu)越。 (2)、中型樣品室內(nèi)部尺寸直徑為210mm,可同時(shí)接配多種探測(cè)器; 五軸精密機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái),自動(dòng)或者手動(dòng)控制。自動(dòng)臺(tái)計(jì)算機(jī)導(dǎo)航控制,步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)19nm/步,Point & Go操作,具有坐標(biāo)定位系統(tǒng),點(diǎn)擊臨時(shí)存儲(chǔ)的圖像,樣品上的該位置能夠自動(dòng)返回掃描視野中心;樣品上的z軸調(diào)節(jié)范圍5-65mm,實(shí)現(xiàn)對(duì)大型樣品,和很大高度梯度樣品的靈活操縱,使用自動(dòng)臺(tái),用戶可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品更快速的評(píng)估和測(cè)量。 (3)、真空系統(tǒng)為渦輪分子泵真空系統(tǒng),高效清潔節(jié)能; 或者更具經(jīng)濟(jì)性的擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)。
(4)、新先進(jìn)制作工藝的全數(shù)字化電器控制系統(tǒng),與主機(jī)集成為一體,結(jié)構(gòu)緊湊,穩(wěn)定可靠,與計(jì)算機(jī)通訊采用USB/PCI接口。整機(jī)可輕松在很大范圍內(nèi)移動(dòng)。
(5)、數(shù)字化掃描系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)從實(shí)時(shí)基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式,這相對(duì)CX-100有了顯著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供的視覺(jué)質(zhì)量。
(6)、自動(dòng)控制:自動(dòng)電子槍亮度,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消象散,自動(dòng)亮度對(duì)比度控制,自動(dòng)電子束對(duì)中,自動(dòng)電子槍加飽和,自動(dòng)偏壓,物鏡光闌自動(dòng)搖擺對(duì)中合軸,增加了傾斜補(bǔ)償和自動(dòng)聚焦功能。具有這些功能,用戶將能夠更輕松操作儀器。
(7)、GUI操作軟件:多種快捷按鈕,操作簡(jiǎn)單方便,同時(shí)允許用戶自定義熱鍵,允許更高效的操作;圖像灰度直方圖實(shí)時(shí)顯示,可以幫助用戶保持的圖像質(zhì)量;雙圖像顯示,允許用戶輕松比較不同圖像的差別;產(chǎn)品能夠使用MS-Office軟件生成,允許用戶創(chuàng)建數(shù)據(jù)。
CX-200納米工作站介紹:
1、高分辨率圖像
納米工作站提供客戶,從實(shí)時(shí)基于電視掃描高速模式到高分辨圖像模式,這相對(duì)CX-100有了顯著提高。在照相模式下,具有支持采集 [5120 x 3840pixel]的能力。給您提供的視覺(jué)質(zhì)量。
2、自動(dòng)控制
納米工作站具有,燈絲自動(dòng)加飽和、自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消象散、自動(dòng)電子槍對(duì)中等功能。具有這些功能,用戶將能夠更輕松操作儀器。
3、自動(dòng)樣品臺(tái)
當(dāng)使用CX-200納米工作站和自動(dòng)樣品臺(tái),這個(gè)掃描電鏡將是全自動(dòng)的掃描電鏡。
Point & Go 鼠標(biāo)點(diǎn)擊圖像,樣品移動(dòng)
納米工作站可使用Point&Go功能控制樣品移動(dòng)到用戶想到達(dá)的位置,從而用戶可以更快速的評(píng)估和測(cè)量。(圖像中心坐標(biāo)位置存儲(chǔ)在圖像中)
4、灰度直方圖Histogram
納米工作站提供實(shí)時(shí)的圖像灰度直方圖均衡,可以幫助用戶改善圖像質(zhì)量。
5、使用熱鍵和生成
納米工作站具有用戶自定義熱鍵,使用這個(gè)項(xiàng)目,允許用戶更高效操作。同時(shí),產(chǎn)品能夠使用MS-Office軟件生成,允許用戶創(chuàng)建數(shù)據(jù)。
6、雙圖像顯示 Dual Mode Image
納米工作站有兩個(gè)顯示屏,用戶可以同時(shí)觀察兩幅圖像(如不同部位的圖像,或者雙信號(hào)圖像)。允許用戶輕松比較不同圖像的差別。
三、競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
中檔配置的CX-200系列掃描電鏡具有和諸如日立、JEOL、FEI、卡爾.蔡司同等級(jí)別的產(chǎn)品幾乎完全相同的品質(zhì),然而,我們公司正在銷售的這些型號(hào)更加經(jīng)濟(jì),更加友好 。
通過(guò)韓國(guó)領(lǐng)導(dǎo)納米發(fā)展的大學(xué)、研究機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)的使用,已經(jīng)證明CX-100S產(chǎn)品具有優(yōu)良的性價(jià)比,而CX-200系列產(chǎn)品相對(duì)更加出色,性價(jià)比進(jìn)一步提高,更受市場(chǎng)客戶歡迎。
特別在售后服務(wù)方面,我們公司不僅有工程師,而且還有韓國(guó)科學(xué)技術(shù)院水平的研究人員參與為客戶服務(wù)。我們公司將重點(diǎn)放在這些研究人員的直接貢獻(xiàn)上,快速適應(yīng)正在不斷變化的社會(huì)需求,保持產(chǎn)品經(jīng)濟(jì)更好。我們公司也接受批評(píng)、建議或者意見(jiàn),從而使我們產(chǎn)品的質(zhì)量像消費(fèi)者所希望的那樣更好。根據(jù)市場(chǎng)變化不斷持續(xù)進(jìn)行技術(shù)革新以及踐行先進(jìn)服務(wù)理念,是COXEM持續(xù)發(fā)展的保障,只有持續(xù)發(fā)展,才能使得用戶的利益獲得保障。COXEM北京辦公室,配置級(jí)的掃描電鏡應(yīng)用工程師和具有30年掃描電鏡制造維修經(jīng)驗(yàn),具有國(guó)內(nèi)水平的工程師,秉承COXEM先進(jìn)服務(wù)理念,保持COXEM中國(guó)在掃描電鏡市場(chǎng)服務(wù)水平,。
我們公司盡全力制造和發(fā)展客戶您所需要的掃描電鏡產(chǎn)品。我們真誠(chéng)希望,如果您有樣品或者問(wèn)題,您會(huì)和我們聯(lián)系,我們無(wú)論如何都愿意從的角度盡可能幫助客戶。如有需要請(qǐng)與我司聯(lián)系 金溢電子(香港)有限公司 深圳市福田保稅區(qū)英達(dá)利數(shù)碼科技園B座210室 電話:/ E-MAILL:@qq.com 聯(lián)系人:劉小姐







