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真空：一定空間內(nèi)氣體分子密度小于該地區(qū)大氣壓下氣體分子密度——我們的系統(tǒng)為了降低該空間的氣體分子而設(shè)計(jì)。 真空度:低壓空間中氣態(tài)物質(zhì)的稀薄程度；氣體的壓力越低，真空度也越高。 真空度的單位：Pa、Torr、ATM 、Kg/cm2 、mbar 等。 真空劃分：粗真空105 ～102Pa 中真空102～10-1Pa 高真高空10-1～10-5Pa 超高真空＜10-5Pa 真空系統(tǒng)：在設(shè)計(jì)真空系統(tǒng)過(guò)程中，搭建一個(gè)合理的真空獲得設(shè)備，需要考慮真空度、流導(dǎo)、抽速、真空規(guī)的測(cè)量范圍、抽除介質(zhì)、環(huán)境因素、所抽空間氣載等諸多因素。根據(jù)情況適用旋片泵、羅茨泵、分子泵、擴(kuò)散泵、離子泵、鈦升華泵等各種泵來(lái)滿足要求。根據(jù)工藝為泵組搭建一套合理的控制、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)非常必要。
