- 產(chǎn)品品牌:
- 美國(guó) INFICON石英晶體膜厚控制儀
- 產(chǎn)品型號(hào):
- MDC360
- 產(chǎn)品用途:
- 半導(dǎo)體,平面顯示器,光學(xué)元件的制造
- 質(zhì)保時(shí)間:
- 2012-12-25
- 質(zhì)保時(shí)間:
- 2012-12-25
該設(shè)備具有功能強(qiáng)大的自我檢測(cè)系統(tǒng),在自動(dòng)運(yùn)行模式過(guò)程中,即使在感應(yīng)器晶片失效情況下,仍可在無(wú)需人工操作情況下完成預(yù)設(shè)鍍膜程序。執(zhí)行運(yùn)行條件與中止功能可由操作員設(shè)定。
•性能
MDC360具有多重性能,只需低成本設(shè)備調(diào)整即可,具備多種半導(dǎo)體技術(shù)和低成本微處理器用途?! ?br /> •動(dòng)態(tài)檢測(cè)更新速率
動(dòng)態(tài)檢測(cè)是由0.5至10Hz(赫茲)之間調(diào)整,使之達(dá)到分辨率及控制。
•優(yōu)良的圖象顯示
MDC-360配備了256x64像素液晶圖象顯示器,使之具備重要數(shù)據(jù)的即時(shí)顯示,例如速率速率偏差膜厚及功率。
•程序安全
MDC-360配備了密碼編輯功能,以保證已儲(chǔ)存的程序的完整及不被其他人隨意改動(dòng)。
•運(yùn)行過(guò)程無(wú)需人為操作設(shè)計(jì)
MDC-360已具備真正的全自動(dòng)運(yùn)行至程序結(jié)束功能,并且具有功能強(qiáng)大的內(nèi)在監(jiān)測(cè)及超越異常中斷線路,使異常中斷的可能性降至。
•安全故障中止
在運(yùn)行過(guò)程中,如果出現(xiàn)故障MDC360內(nèi)在檢測(cè)證實(shí),運(yùn)行無(wú)法繼續(xù)MDC360將中止程序運(yùn)行并且關(guān)閉所有輸出,同時(shí)在速率控制錯(cuò)誤或晶片故障時(shí),MDC360可提供給操作者選擇運(yùn)行中止。
•保持程序中斷狀態(tài)
當(dāng)MDC360中斷鍍膜運(yùn)行時(shí),相關(guān)的運(yùn)行信息將被儲(chǔ)存起來(lái),待故障排除后被中止了的鍍膜運(yùn)行將可繼續(xù)進(jìn)行。
•晶片失效時(shí)完成運(yùn)行
MDC360的內(nèi)在監(jiān)測(cè)與中止運(yùn)行功能,是為了保護(hù)鍍膜設(shè)備安全以及避免設(shè)備在運(yùn)行過(guò)程中發(fā)生嚴(yán)重故障,運(yùn)行過(guò)程中晶片失效屬于例外情況,可以不必中止運(yùn)行程序,在此狀態(tài)下MDC360可以設(shè)定為中止運(yùn)行,但也可設(shè)定為轉(zhuǎn)換備用晶片或時(shí)間/功率方式繼續(xù)運(yùn)行。
•高效能系統(tǒng)界面
完全可程序化的獨(dú)立的輸入和輸出,使MDC360很容易與鍍膜系統(tǒng)的界面連接,以控制更復(fù)雜的運(yùn)行過(guò)程,同時(shí)為避免短路故障源極控制輸出是完全獨(dú)立絕緣的。MDC360還支持并接收光學(xué)膜厚儀的光學(xué)膜厚終止信號(hào)。
•電源干擾公差
完整的RFI濾波器與大容量的電容器將可容許至700ms(毫秒)以下的電源中斷及高強(qiáng)度干擾而繼續(xù)工作。
•國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)電源接頭
電源接頭是經(jīng)過(guò)國(guó)際及符合IEC(國(guó)際電器技術(shù)協(xié)會(huì))標(biāo)準(zhǔn),輸入電源可選擇100至240伏,50或60赫茲并配備了高性能RFI干擾過(guò)濾器。
•現(xiàn)場(chǎng)性能提升
插入式界面板和選項(xiàng)板可以使基礎(chǔ)設(shè)備個(gè)體在工作現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)至系統(tǒng)別。
北京利方達(dá)真空技術(shù)有限責(zé)任公司
市場(chǎng)部 方立武 手機(jī):
聯(lián)系電話(huà): 傳真:




