S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大,超重,超高樣品的分析型掃描電鏡 ● 可載樣品直徑達(dá)300mm ● 觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm ● 在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析 ● 樣品室設(shè)置多種接口,可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件 ● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜--20°~+90° ● 采用節(jié)能,清潔的渦輪分子泵 S-3700N技術(shù)參數(shù) | 分辨率 | SE 3.0nm,30KV(高真空模式) 10nm, 3KV(高真空模式) BSE 4.0nm,30KV(低真空模式) | | 放大倍率 | x5~x300,000 | | 加速電壓 | 0.3~30KV | | 低真空范圍 | 6~270Pa | | 圖像電位移 | ±50μm (工作距離 10mm) | | 裝載樣品 | 直徑300mm |
樣品臺(tái) | X | 150mm | | Y | 110mm | | Z | 5~65mm | | R | 360° | | T | -20°~90° | | 觀測區(qū)域 | 203mm直徑 | | 樣品高 | 110mm(工作距離10mm) | | 樣品臺(tái)類型 | 優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 燈絲 | 預(yù)對中燈絲 | | 物鏡光闌 | 4孔活動(dòng)光闌4孔活動(dòng)光闌 | | 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 | | 探測器 | 二次電子探頭 5分割半導(dǎo)體式被散射探頭 | | 分析位置 | 工作距離10mm,取出角35° |
顯示控制系統(tǒng)
| 控制模式 | 鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板 | | 顯示器 | 液晶顯示器 | | 輔助功能 | 3D動(dòng)畫演示功能 電鏡操作導(dǎo)航功能 樣品操作導(dǎo)航功能 傾斜補(bǔ)償功能 | | 存儲(chǔ)圖像 | 640 x 480 , 1280 x 960 2560 x 1920 , 5120 x 3840 | | 圖片格式 | BMP, TIFF, JPEG | | 圖像顯示模式 | 全屏模式:1280 x 960 標(biāo)準(zhǔn)模式:640 x 480 分割模式:640 x 480 點(diǎn) x 2 信號混合模式 |
真空系統(tǒng) | 控制模式 | 全自動(dòng) | | 分子 | 210升/秒,一臺(tái) | | 機(jī)械泵 | 135升/分,一臺(tái) | | 保護(hù)措施 | 斷電保護(hù)、漏氣保護(hù) |
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