非接觸3維光學(xué)量測儀
龍門自動型
Model:SMS
龍門自動型
1.適用於:MEMS,半導(dǎo)體, LCD,LED,Micro lens
生物晶片等微結(jié)構(gòu)表面形狀參數(shù)研究
2.量測項目: 2D/3D表面輪廓,粗糙度,膜厚,
平面度,磨耗體積等微結(jié)構(gòu)表面參數(shù)量測
3.全自動量測,並有 stitching功能,擴大量測面積的
耦合圖形觀察
4.垂直量測:≦0.1nm, 量測範(fàn)圍: 數(shù)nm到10mm
5.可以搭配 x5,x10,x20,x50,x100物鏡使用







